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龍圖騰網恭喜科磊股份有限公司申請的專利晶片檢查獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115343310B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210968490.9，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權晶片檢查是由阿納托利·羅曼諾夫斯基;伊萬·馬列夫;丹尼爾·卡瓦爾德杰夫;尤里·尤迪特斯凱;迪爾克·沃爾;史蒂文·比耶拉卡設計研發完成，并于2012-07-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶片檢查在說明書摘要公布了：本發明涉及晶片檢查。本發明揭示一種經配置以檢查晶片的系統，該系統包括照明子系統，其經配置以使由所述照明子系統將多個脈沖光束中的第一者引導到晶片上的區域在時間上早于將所述多個脈沖光束中的第二者引導到所述區域；掃描子系統，其經配置以使所述多個脈沖光束跨所述晶片進行掃描；集光子系統，其經配置以使從所述晶片上的所述區域散射的光成像到一個或多個傳感器；計算機子系統，其經配置以使用所述一個或多個傳感器的所述輸出來檢測所述晶片上的缺陷。本發明中的系統可優化檢查速度及或靈敏性。

本發明授權晶片檢查在權利要求書中公布了：1.一種經配置以檢查晶片的系統，其包括：照明子系統，其經配置以通過所述照明子系統先將多個脈沖光束中的第一者引導到晶片上的區域，接著再將所述多個脈沖光束中的第二者引導到所述區域，其中所述多個脈沖光束中的所述第一者與所述第二者在所述晶片上具有彼此不同的形狀及大小，其中所述多個脈沖光束中的所述第一者與所述第二者具有彼此不同的波長、彼此不同的偏振或彼此不同的波長及偏振；掃描子系統，其經配置以使所述多個脈沖光束跨所述晶片進行掃描；集光子系統，其經配置以將從所述晶片上的所述區域散射的光成像到一個或多個傳感器，其中所述一個或多個傳感器響應于所述所散射的光而產生輸出；計算機子系統，其經配置以使用所述一個或多個傳感器的所述輸出來檢測所述晶片上的缺陷，且使用響應于歸因于所述多個脈沖光束中的所述第一者的照明的來自所述區域的所述所散射的光的所述輸出來確定應被引導到所述區域的所述多個脈沖光束中的所述第二者的功率；基于微機電系統的光學切換裝置，其位于所述集光子系統和所述傳感器之間；以及至少一個額外傳感器，其中所述光包括光脈沖，其中所述所散射的光包括散射光脈沖，且其中所述光學切換裝置經配置以將由所述光脈沖中的第一組產生的所述散射光脈沖中的第一者引導到所述傳感器且將由在所述光脈沖中的第一組后的所述光脈沖中的第二組產生的所述散射光脈沖中的第二者引導到所述至少一個額外傳感器。

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