買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的專利一種低接觸晶圓對中、翻轉系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111211064B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811387884.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種低接觸晶圓對中、翻轉系統是由韓禹;徐春旭設計研發完成，并于2018-11-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種低接觸晶圓對中、翻轉系統在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體行業晶圓清洗領域，具體地說是一種低接觸晶圓對中、翻轉系統，翻轉執行機構安裝在支撐架上、輸出端連接有轉盤，夾持執行機構設置在轉盤上，活動夾持裝置的一端與夾持執行機構的輸出端連接，固定夾持裝置的一端安裝在轉盤上，活動夾持裝置及固定夾持裝置的另一端均為夾持端，晶圓的一側設有對其進行對中的低接觸對中機構；活動夾持裝置通過夾持執行機構的驅動相對于轉盤移動，與固定夾持裝置夾持晶圓，夾持執行機構、活動夾持裝置、固定夾持裝置及被夾持的晶圓隨轉盤由翻轉執行機構驅動旋轉。本發明能夠對晶圓進行對中、夾持、翻轉，可以實現控制晶圓接觸面積、校準晶圓中心，保證晶圓清潔、準確、安全地完成翻轉。

本發明授權一種低接觸晶圓對中、翻轉系統在權利要求書中公布了：1.一種低接觸晶圓對中、翻轉系統，其特征在于：包括低接觸對中機構1、活動夾持裝置2、固定夾持裝置3、晶圓翻轉機構7及支撐架9，其中晶圓翻轉機構7包括翻轉執行機構701及夾持執行機構702，該翻轉執行機構701安裝在支撐架9上、輸出端連接有轉盤901，所述夾持執行機構702設置在轉盤901上，所述活動夾持裝置2的一端與夾持執行機構702的輸出端連接，所述固定夾持裝置3的一端安裝在轉盤901上，該活動夾持裝置2及固定夾持裝置3的另一端均為夾持端，晶圓6的一側設有對其進行對中的低接觸對中機構1；所述活動夾持裝置2通過夾持執行機構702的驅動相對于轉盤901移動，與固定夾持裝置3夾持晶圓6，所述夾持執行機構702、活動夾持裝置2、固定夾持裝置3及被夾持的晶圓6隨轉盤901由翻轉執行機構701驅動旋轉；所述低接觸對中機構1包括對中升降結構101、對中運動執行機構102、對中支撐PIN103、對中終端接觸器104、承載臺105及夾臂106，該承載臺105安裝在對中升降結構101上，所述承載臺105上設有對中運動執行機構102，該對中運動執行機構102的兩個輸出端分別連接有夾臂106，每端夾臂106的夾持端均安裝有與晶圓6接觸的對中終端接觸器104；所述承載臺105上設有支撐晶圓6的對中支撐PIN103。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人沈陽芯源微電子設備股份有限公司，其通訊地址為：110168 遼寧省沈陽市渾南區飛云路16號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。