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龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利一種襯底傳送裝置及襯底傳送方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113838786B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010586841.0，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種襯底傳送裝置及襯底傳送方法是由王燚;吳鳳麗設計研發完成，并于2020-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種襯底傳送裝置及襯底傳送方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種襯底傳送裝置及襯底傳送方法，定位底座、定位桿和抓取裝置，其中，底座位于本裝置的下部，定位桿的一端與定位底座連接，定位桿的另一端與抓取裝置連接。本發明一種具有取片功能的取片裝置，在薄膜沉積結束后，可直接用該工具取送晶圓托盤，不受設備腔內溫度的影響，且該機構使用安全，省力，在操作過程中，工具操作可以提高人身安全，克服了托盤較重、較大的苦難，加快了取片速度提高生產能力，降低操作者勞動強度，該裝置運行方式靈活，處理效果穩定，提高了工作效率，減輕工人勞動強度，具有極高的生產經濟價值。

本發明授權一種襯底傳送裝置及襯底傳送方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底傳送裝置，其特征在于，包括：底座（1）、定位桿2和抓取裝置3；其中，底座1位于本裝置的下部，定位桿2的一端與底座1連接，定位桿2的另一端與抓取裝置3連接；抓取裝置3的下部設有轉盤301，轉盤301上設有多個長條形抓取臂302，抓取臂302的前端均設有向下的抓鉤303，在轉盤301圓心處設有旋轉軸304，旋轉軸304上設有旋轉限位塊305和旋轉限位座401，旋轉限位座401與旋轉限位塊305之間設有旋轉限位銷306，旋轉限位座401位于兩個定位底座402之間的橫梁403上，所述旋轉限位座401的下方橫梁403上，設有升降限位塊404；旋轉動作中，取盤時，旋轉限位塊305和旋轉限位座401左側接觸完成限位，放盤時，旋轉限位塊305和旋轉限位座401右側接觸完成限位；所述旋轉限位塊305設有第一限位部，所述旋轉限位座401設有第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部在以旋轉軸（304）的軸線為旋轉中心的周向上相對設置，取盤時，所述旋轉限位塊305的第一限位部和旋轉限位座401的第二限位部的左側接觸完成限位，放盤時，旋轉限位塊305的第一限位部和旋轉限位座401的第二限位部的右側接觸完成限位；升降動作中，上位時，旋轉限位座401和升降定位塊404接觸完成限位，下位時，旋轉限位塊305和旋轉限位座401接觸完成限位。

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