恭喜ASMIP私人控股有限公司吉川潤獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASMIP私人控股有限公司申請的專利使用同軸波導的等離子體裝置以及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112216589B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010655398.8，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權使用同軸波導的等離子體裝置以及基板處理方法是由吉川潤;野澤俊久設計研發完成，并于2020-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本使用同軸波導的等離子體裝置以及基板處理方法在說明書摘要公布了：一種等離子體裝置的示例包括：同軸波導，其具有內導體和包圍該內導體的外導體，其中在外導體和內導體之間設置有第一間隙，所述同軸波導具有在多個分支部處分支的形狀；多個桿，其具有導體和包圍該導體的電介質，其中在電介質和導體之間設置有第二間隙，所述多個桿連接在分支部處分支的同軸波導的兩個端部，以連接第一間隙和第二間隙；以及導電樁，其設置在同軸波導的通過在分支部處分支而獲得的分支部分處，所述導電樁可插入第一間隙并且可從第一間隙移除。
本發明授權使用同軸波導的等離子體裝置以及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種等離子體裝置，包括：同軸波導，其具有內導體和包圍該內導體的外導體，其中在外導體和內導體之間設置有第一間隙，所述同軸波導具有在多個分支部處分支的形狀；多個桿，其具有導體和包圍該導體的電介質，其中在電介質和導體之間設置有第二間隙，所述多個桿連接在分支部處分支的同軸波導的兩個端部，以連接第一間隙和第二間隙；以及導電樁，其設置在同軸波導的通過在分支部處分支而獲得的分支部分，所述導電樁可插入第一間隙并且可從第一間隙移除，其中，所述同軸波導具有微波引入部和多個端部，該多個端部通過在多個分支部處分支而獲得；其中，所述導電樁設置在第一分支部，該第一分支部是多個分支部中最靠近微波引入部的分支部；且其中，所述導電樁形成為從外導體的內壁在內導體的方向上突出，由此允許多個桿的電場強度不均勻。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASMIP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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