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龍圖騰網恭喜株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理裝置及襯底處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113205990B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110119190.9，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權襯底處理裝置及襯底處理系統是由墨周武設計研發完成，并于2021-01-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本襯底處理裝置及襯底處理系統在說明書摘要公布了：本申請案涉及一種襯底處理裝置及襯底處理系統。在處理容器內處理襯底的襯底處理裝置中，防止因部件滑擦引起的揚塵污染襯底，且將蓋部確實地鎖定在容器主體。因此，襯底處理系統1具備：處理容器主體12；蓋部13，可堵塞處理容器主體的開口；移動部14，使蓋部相對于處理容器主體相對移動，而將開口打開及關閉；以及鎖定機構16，將蓋部鎖定在處理容器主體。鎖定機構具有：臂部161，在處理容器主體及蓋部中的一側向另一側延設，且當蓋部位于從處理容器主體離開的離開位置時，超出與處理容器主體的間隙空間延伸至另一側；以及卡止部162，與臂部中當蓋部位于離開位置時位于超出間隙空間的位置的部位卡合，限制臂部的位移。

本發明授權襯底處理裝置及襯底處理系統在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，具備：處理容器主體，具有內部空間及開口，所述內部空間可收容襯底，所述開口與所述內部空間連通，用來使所述襯底通過；蓋部，可堵塞所述開口；移動部，使所述蓋部相對于所述開口相對移動，利用所述蓋部將所述開口打開及關閉；以及鎖定機構，將所述蓋部鎖定在所述處理容器主體；且所述移動部使所述蓋部相對于所述處理容器主體的相對位置在堵塞位置與離開位置之間變化，此處，所述堵塞位置是所述蓋部接近所述處理容器主體而堵塞所述開口的位置，所述離開位置是所述蓋部相對于所述開口朝與所述內部空間相反的方向、且在與所述開口之間隔開用來使向所述內部空間搬送的所述襯底通過的間隙空間而離開的位置，所述鎖定機構具有：臂部，在所述處理容器主體及所述蓋部中的一方，向另一方延伸而設置；以及卡止部，當所述蓋部位于所述堵塞位置時與所述臂部卡合，限制所述臂部的位移；且所述臂部安裝于所述蓋部，所述移動部使所述蓋部與所述臂部一體移動，所述開口設置在所述處理容器主體的側面，所述蓋部相對于所述處理容器主體的相對移動方向為水平方向，所述襯底以水平姿勢搬入所述內部空間中，所述臂部在所述蓋部位于所述離開位置時，前端超過所述間隙空間而延伸至所述另一方，供所述卡止部卡合的所述臂部的部位是所述臂部中當所述蓋部位于所述離開位置時位于超過所述間隙空間的位置的部位。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。