恭喜東京毅力科創株式會社藤田成樹獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利成膜方法和成膜裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115485816B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180032421.0，技術領域涉及：H01L21/316；該發明授權成膜方法和成膜裝置是由藤田成樹;光成正;菊地貴倫設計研發完成，并于2021-04-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本成膜方法和成膜裝置在說明書摘要公布了：成膜方法包括下述A～B。A向表面包含相鄰的凹部和凸部的基板的所述凹部供給液體。B向所述基板表面供給使所述液體發生化學變化的處理氣體，通過所述處理氣體與所述液體的反應使所述液體從所述凹部向所述凸部的頂面移動，來選擇性地在所述基板的所述表面中的所述凸部的所述頂面形成膜。
本發明授權成膜方法和成膜裝置在權利要求書中公布了：1.一種成膜方法，包括以下步驟：向表面包含相鄰的凹部和凸部的基板的所述凹部供給液體；以及向所述基板的表面供給使所述液體發生化學變化的處理氣體，通過所述處理氣體與所述液體的反應使所述液體從所述凹部向所述凸部的頂面移動，來選擇性地在所述基板的所述表面中的所述凸部的所述頂面形成膜，其中，在開始向所述基板的表面供給所述處理氣體的時間點，所述液體為液體狀態。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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