恭喜江蘇通用半導體有限公司陶為銀獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇通用半導體有限公司申請的專利晶圓背切裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114393325B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210105489.3,技術領域涉及:B23K26/38;該發明授權晶圓背切裝置是由陶為銀設計研發完成,并于2022-01-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓背切裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種晶圓背切裝置,包括:設置在同一升降立柱上的兩個水平多關節機械手臂,以及與水平多關節機械手臂相配合的晶圓供料平臺、三軸晶圓預定位裝置和固定在晶圓激光隱切平臺上的晶圓隱切裝置和陶瓷載臺,所述水平多關節機械臂分別為第一水平多關節機械手臂和第二水平多關節機械手臂,第一水平多關節機械手臂的活動端固定有U型架,U型架的上端固定第一旋轉電機,第一旋轉電機的輸出端固定第一吸盤機械手,第二水平多關節機械手臂的活動端直接固定第二旋轉電機,第二旋轉電機的輸出端固定第二吸盤機械手,U型架的U型口為第二水平多關節機械手臂提供讓位。
本發明授權晶圓背切裝置在權利要求書中公布了:1.晶圓背切裝置,包括:設置在同一升降立柱上的兩個水平多關節機械手臂,以及與水平多關節機械手臂相配合的晶圓供料平臺、三軸晶圓預定位裝置和固定在晶圓激光隱切平臺上的晶圓隱切裝置和陶瓷載臺,其特征在于,所述水平多關節機械臂分別為第一水平多關節機械手臂和第二水平多關節機械手臂,第一水平多關節機械手臂的活動端固定有U型架,U型架的上端固定第一旋轉電機,第一旋轉電機的輸出端固定第一吸盤機械手,第二水平多關節機械手臂的活動端直接固定第二旋轉電機,第二旋轉電機的輸出端固定第二吸盤機械手,U型架的U型口為第二水平多關節機械手臂提供讓位。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇通用半導體有限公司,其通訊地址為:214400 江蘇省無錫市江陰市青陽鎮青桐路215號霞客灣創智園3幢1-2層;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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