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龍圖騰網(wǎng)恭喜華海清科股份有限公司申請(qǐng)的專利晶圓裝卸裝置及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115101459B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210677124.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)晶圓裝卸裝置及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)是由吳興;許振杰;王同慶;路新春設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓裝卸裝置及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓裝卸裝置及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)，所述晶圓裝卸裝置包括：托架，用于裝載和或卸載晶圓；托架座，連接于托架下方，用于支撐托架；支座，位于托架座下方并與托架座鉸接；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于支座下方，用于驅(qū)動(dòng)支座沿豎向移動(dòng)；其中，所述托架座和支座之間設(shè)置有彈性結(jié)構(gòu)，所述彈性結(jié)構(gòu)圍繞所述托架座的中軸線并在徑向同距設(shè)置，以通過(guò)所述彈性結(jié)構(gòu)均勻分布的彈性力使所述托架座平行于所述支座。

本發(fā)明授權(quán)晶圓裝卸裝置及化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種柔性可調(diào)的晶圓裝卸裝置，其特征在于，包括：托架，用于裝載和或卸載晶圓；托架座，連接于托架下方，用于支撐托架；支座，位于托架座下方并與托架座通過(guò)鉸接機(jī)構(gòu)連接，所述鉸接機(jī)構(gòu)與所述托架座同軸；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于支座下方，用于驅(qū)動(dòng)支座沿豎向移動(dòng)；其中，所述托架座和支座之間設(shè)置有環(huán)繞所述鉸接機(jī)構(gòu)設(shè)的彈性結(jié)構(gòu)，所述彈性結(jié)構(gòu)圍繞所述托架座的中軸線并在徑向同距設(shè)置；所述彈性結(jié)構(gòu)用于與承載頭交互晶圓時(shí)以通過(guò)不提供彈性力使所述托架座可以通過(guò)鉸接機(jī)構(gòu)擺動(dòng)，還用于與機(jī)械手交互晶圓時(shí)通過(guò)提供均勻分布的彈性力使所述托架座平行于所述支座。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。