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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州芯睿科技有限公司申請(qǐng)的專利一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115497861B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211055077.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)是由邱新智設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-08-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于吸盤模組防變形領(lǐng)域，尤其是一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)，針對(duì)目前市場(chǎng)上的現(xiàn)有吸盤組，使用易變形，不方便調(diào)節(jié)而且無法保證吸盤底端完全平行的情況，現(xiàn)提出如下方案：一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)，包括安裝板，所述安裝板的下端固定設(shè)置有橫板，所述橫板的下端固定設(shè)置有連接筒，所述連接筒的下端固定設(shè)置有套筒，所述套筒的內(nèi)壁固定設(shè)置有固定板。本發(fā)明中，通過設(shè)置有雙層導(dǎo)向裝置，在吸盤工作時(shí)可以很好的保證不會(huì)因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間工作導(dǎo)致晃動(dòng)，變形的情況發(fā)生，而且設(shè)置有紅外線設(shè)備，以及標(biāo)記線，當(dāng)單個(gè)吸盤變形時(shí)，可以根據(jù)紅外線照射點(diǎn)來進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)。

本發(fā)明授權(quán)一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于晶圓解鍵合設(shè)備上吸盤模組的防變形調(diào)平機(jī)構(gòu)，包括安裝板（1），其特征在于，所述安裝板（1）的下端固定設(shè)置有橫板（3），所述橫板（3）的下端固定設(shè)置有連接筒（4），所述連接筒（4）的下端固定設(shè)置有套筒（5），所述套筒（5）的內(nèi)壁固定設(shè)置有固定板（6），所述套筒（5）的上端內(nèi)壁固定設(shè)置有螺紋桿（7），所述螺紋桿（7）的外壁固定設(shè)置有從動(dòng)齒輪（8），所述螺紋桿（7）的外壁滑動(dòng)套設(shè)有螺紋滑套（11），所述螺紋滑套（11）的一側(cè)固定設(shè)置有連接塊（12），所述連接塊（12）的一側(cè)固定設(shè)置有移動(dòng)桿（13），所述固定板（6）的內(nèi)部開設(shè)有限位孔（14），所述移動(dòng)桿（13）的下端固定設(shè)置有固定座（15）；所述固定座（15）的下端固定設(shè)置有吸盤連接板（16），所述吸盤連接板（16）的兩側(cè)均固定設(shè)置有限位桿（17），所述套筒（5）的內(nèi)壁開設(shè)有限位槽（18），所述套筒（5）的兩側(cè)外壁均固定設(shè)置有豎板（20），所述豎板（20）的兩側(cè)開設(shè)有導(dǎo)向槽（22），所述導(dǎo)向槽（22）的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有導(dǎo)向板（21），所述橫板（3）的下端固定設(shè)置有支撐柱（24），所述支撐柱（24）的下端外壁固定設(shè)置有固定套（25），所述固定套（25）的兩側(cè)均固定設(shè)置有紅外線設(shè)備（26），所述套筒（5）的一側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（9），所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（9）靠近從動(dòng)齒輪（8）的一端外壁固定設(shè)置有主動(dòng)齒輪（10），所述主動(dòng)齒輪（10）與從動(dòng)齒輪（8）嚙合，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（9）遠(yuǎn)離從動(dòng)齒輪（8）的一端固定設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)塊（27）。

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