買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所申請的專利基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115436025B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211190024.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M11/02；該發(fā)明授權(quán)基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法是由盧云君;李中梁;王向朝設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法在說明書摘要公布了：基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法，該方法采用的光柵剪切干涉儀系統(tǒng)包含：光學(xué)及照明系統(tǒng)、待測光學(xué)系統(tǒng)、物面衍射光柵版、像面衍射光柵版、二維光電傳感器和計算處理單元。物面衍射光柵版和像面衍射光柵版分別置于待測光學(xué)系統(tǒng)的物面和像面。測量時，通過軸向掃描的方法，測量軸向兩個及以上位置處的差分波前并擬合得到傾斜項系數(shù)，利用相鄰位置差分波前的傾斜項系數(shù)的差值和相鄰位置的軸向距離，直接計算得到待測系統(tǒng)的數(shù)值孔徑。該方法不需要制作額外的光柵，在波像差測量的基礎(chǔ)上，只需增加一步剪切相位的測量，就可以得到待測光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的測量，具有測量流程簡單、操作方便等優(yōu)點。

本發(fā)明授權(quán)基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法在權(quán)利要求書中公布了：1.基于光柵剪切干涉的光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的測量方法，該方法采用的光柵剪切干涉儀包含：光源及照明系統(tǒng)8、物面衍射光柵版1、第一三維位移臺2、像面衍射光柵版4、第二三維位移臺5、二維光電傳感器6和計算處理單元7，所述的光源及照明系統(tǒng)8輸出空間非相干光，所述的物面衍射光柵版1固定在第一三維位移臺2上，所述的像面衍射光柵版4固定在第二三維位移臺5上，所述的物面衍射光柵版1上包含兩組光柵線方向垂直的一維光柵，所述的像面衍射光柵版4上包含一組棋盤光柵或者兩組光柵線方向垂直的一維光柵，所述的二維光電傳感器6的輸出端與計算處理單元7相連，建立xyz坐標(biāo)系，z軸方向沿著光柵剪切干涉儀的光軸方向，x軸沿著物面衍射光柵版1上第二光柵102的光柵線方向，y軸沿著物面衍射光柵版1上第一光柵101的光柵線方向，設(shè)第一三維位移臺2和第二三維位移臺5的運動軸分別為x軸、y軸和z軸，其特征在于，該方法的步驟如下：步驟1將待測光學(xué)系統(tǒng)3置于該光柵剪切干涉儀中，使光源及照明系統(tǒng)8位于待測光學(xué)系統(tǒng)3的物方，且像面衍射光柵版4位于待測光學(xué)系統(tǒng)3的像方，調(diào)整第一三維位移臺2，使物面衍射光柵版1位于待測光學(xué)系統(tǒng)3的物面，調(diào)整第二三維位移臺5，使像面衍射光柵版4位于待測光學(xué)系統(tǒng)3的像面；步驟2調(diào)整第一三維位移臺2，使物面衍射光柵版1上第二光柵102或第一光柵101進(jìn)入待測光學(xué)系統(tǒng)3的視場，調(diào)整第二三維位移臺5，使像面衍射光柵版4上的棋盤光柵或?qū)?yīng)方向的一維光柵進(jìn)入視場，與物面衍射光柵版1上的第二光柵102的位置共軛，記錄此時像面光柵的位置，記為P1；步驟3以P1為起點，定義第二三維位移臺5沿z向掃描的N個位置，N＝2，作為軸向掃描位置，記為Pi，其中i＝1，2，3…N；步驟4如果第二光柵102進(jìn)入待測光學(xué)系統(tǒng)3的視場，則通過物面或像面光柵相移，獲取x軸方向的一系列剪切干涉圖，測量得到x軸方向差分波前對進(jìn)行Zernike擬合，提取Z2項系數(shù)c2,i，其中，i＝1，2，3…N；如果第一光柵101進(jìn)入待測光學(xué)系統(tǒng)3的視場，則通過物面或像面光柵相移，獲取y軸方向的一系列剪切干涉圖，測量得到y(tǒng)軸方向差分波前對進(jìn)行Zernike擬合，提取Z3項系數(shù)c3,i，其中，i＝1，2，3…N；步驟5如果所述的第二三維位移臺5當(dāng)前的z向位置Pi為PN，則進(jìn)入步驟6，否則所述的第二三維位移臺5移動至下一個位置Pi+1，使Pi＝Pi+1，返回步驟4；步驟6如果第二光柵102進(jìn)入待測光學(xué)系統(tǒng)3的視場，則將Z2系數(shù)c2,i與前一個位置的Z2系數(shù)c2,i-1相減，得到N-1個Z2系數(shù)的差值Δc2,i，將位置Pi與前一個位置Pi-1進(jìn)行相減，得到相應(yīng)的軸向距離為ΔZi，其中，i＝2，3…N；此時按照公式1計算N-1組待測光學(xué)系統(tǒng)3的數(shù)值孔徑NA的大?。? 其中，P為像面光柵周期，NA為光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑，λ為波長,如果第一光柵101進(jìn)入待測光學(xué)系統(tǒng)3的視場，則將Z3系數(shù)c3,i與前一個位置的Z3系數(shù)c3,i-1相減，得到N-1個Z3系數(shù)的差值Δc3,i，將位置Pi與前一個位置Pi-1進(jìn)行相減，得到相應(yīng)的軸向距離為ΔZi，其中，i＝2，3…N，此時按照公式2計算N-1組待測光學(xué)系統(tǒng)3的數(shù)值孔徑NA的大?。? 步驟7最終的待測光學(xué)系統(tǒng)3的數(shù)值孔徑為這N-1組NA的均值。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所，其通訊地址為：201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。