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龍圖騰網恭喜上海朋熙半導體有限公司申請的專利缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117611879B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311467228.7，技術領域涉及：G06V10/764；該發明授權缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀介質是由喬海瑞設計研發完成，并于2023-11-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀介質在說明書摘要公布了：本申請提供了一種缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀介質。通過獲取待檢測對象的待檢測圖像，將所述待檢測圖像輸入至預先訓練的缺陷檢測模型中，得到所述缺陷檢測模型輸出的缺陷檢測類別以及各所述缺陷檢測類別對應的類別置信度；根據各所述缺陷檢測類別和各所述缺陷檢測類別對應的類別置信度，確定候選缺陷類別；獲取晶圓特征圖，基于所述晶圓特征圖確定晶圓缺陷類別；根據所述候選缺陷類別和所述晶圓缺陷類別確定所述待檢測圖像的目標缺陷類別?？梢灾辽儆靡越鉀Q半導體缺陷定位不準確的技術問題。

本發明授權缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀介質在權利要求書中公布了：1.一種缺陷檢測方法，其特征在于，包括：獲取待檢測對象的待檢測圖像，將所述待檢測圖像輸入至預先訓練的缺陷檢測模型中，得到所述缺陷檢測模型輸出的缺陷檢測類別以及各所述缺陷檢測類別對應的類別置信度；根據各所述缺陷檢測類別和各所述缺陷檢測類別對應的類別置信度，確定候選缺陷類別；獲取晶圓特征圖，基于所述晶圓特征圖確定晶圓缺陷類別；根據所述候選缺陷類別和所述晶圓缺陷類別確定所述待檢測圖像的目標缺陷類別；其中，所述基于所述晶圓特征圖確定晶圓缺陷類別，包括：根據所述晶圓特征圖中的缺陷點位分布，確定晶圓問題區域，并基于預先構建的標準缺陷類別的標準點位分布和所述缺陷點位分布確定所述晶圓缺陷類別；其中，當所述晶圓問題區域的個數為至少兩個時，所述根據所述候選缺陷類別和所述晶圓缺陷類別確定所述待檢測圖像的目標缺陷類別，包括：根據晶圓問題區域、所述晶圓缺陷類別和所述候選缺陷類別確定所述目標缺陷類別；其中，所述根據晶圓問題區域、所述晶圓缺陷類別和所述候選缺陷類別確定所述目標缺陷類別，包括：若所述晶圓缺陷類別與所述晶圓問題區域對應，且所述候選缺陷類別中存在與所述晶圓缺陷類別一致的類別，則將所述晶圓缺陷類別作為所述目標缺陷類別；若所述晶圓缺陷類別與所述晶圓問題區域不對應且所述候選缺陷類別中不存在與所述晶圓問題區域對應的缺陷類別，或所述晶圓缺陷類別與所述晶圓問題區域對應且所述候選缺陷類別中存在與所述晶圓問題區域對應的缺陷類別，則基于所述候選缺陷類別的位置信息對所述候選缺陷類別的類別置信度進行更新，并將更新后的類別置信度最高的候選缺陷類別作為所述目標缺陷類別；若所述晶圓缺陷類別與所述晶圓問題區域不對應，且所述候選缺陷類別中不存在與所述晶圓問題區域對應的缺陷類別，則將類別置信度最高的候選缺陷類別作為所述目標缺陷類別。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海朋熙半導體有限公司，其通訊地址為：201208 上海市浦東新區涵橋路619號金鼎天地C棟15-17樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。