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龍圖騰網恭喜吾拾微電子(蘇州)有限公司申請的專利一種半導體器件處理設備獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118943058B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202411426273.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權一種半導體器件處理設備是由萬士元;沈達;薛亞玲設計研發(fā)完成，并于2024-10-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體器件處理設備在說明書摘要公布了：本申請涉及一種半導體器件處理設備，包括：工作臺；上料裝置，承載運輸裝置，驅動承載臺沿第一方向在第一位置和第二位置之間移動；抓取裝置；貼膜裝置；壓合裝置；裁切裝置。貼膜裝置的供料組件和收料組件分別位于承載臺的兩側，藍膜的一端卷繞在供料組件上，另一端卷繞在收料組件上，供料組件能夠跟隨收料組件轉動，供料組件具有第一預設速度，收料組件具有第二預設速度，第一預設速度與第二預設速度趨于一致，使得供料組件與收料組件之間的藍膜始終具有張緊力，壓合裝置將保持張緊力的藍膜壓合貼附在晶圓和鐵環(huán)上，使藍膜在覆蓋晶圓時能夠緊密貼合，避免出現褶皺、氣泡等缺陷，極大地提高了貼膜的平整度和均勻性，從而提升了半導體器件的質量。

本發(fā)明授權一種半導體器件處理設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體器件處理設備，其特征在于，包括：工作臺；上料裝置，設置在所述工作臺上，用于上料鐵環(huán)；承載運輸裝置，設置在所述上料裝置一側，包括設置在所述工作臺上的承載臺和與所述承載臺連接的第一驅動件，所述承載臺用于承載晶圓和鐵環(huán)，所述第一驅動件能夠驅動所述承載臺沿第一方向在第一位置和第二位置之間移動；抓取裝置，設置在所述承載運輸裝置的一側，所述抓取裝置能夠將所述上料裝置的鐵環(huán)抓取至處于第一位置的所述承載臺上，且所述鐵環(huán)位于所述晶圓外圍；貼膜裝置，包括供料組件和收料組件以及藍膜，所述承載臺處于所述第二位置時，于水平方向上，所述供料組件和收料組件沿第一方向分別位于所述承載臺的兩側，所述藍膜的一端卷繞在所述供料組件上，另一端卷繞在所述收料組件上，所述供料組件能夠跟隨所述收料組件轉動，所述供料組件具有松放藍膜的第一預設速度，所述收料組件具有收緊藍膜的第二預設速度，所述第一預設速度與第二預設速度趨于一致，使得所述供料組件與所述收料組件之間的藍膜始終具有張緊力；壓合裝置，通過安裝板安裝在所述工作臺上，所述壓合裝置包括壓合板和與所述壓合板連接的第二驅動件，所述第二驅動件能夠驅動所述壓合板在高度方向上移動，以將位于所述承載臺上方的藍膜與位于所述第二位置時承載臺上的鐵環(huán)與晶圓貼合固定；裁切裝置，包括設置在承載臺上方的連接臂和設置在所述連接臂第一端的裁剪件以及與所述裁剪件連接的第三驅動件和與所述連接臂連接的第四驅動件，所述第三驅動件能夠驅動所述裁剪件在高度方向上移動以靠近或遠離所述承載臺上方的藍膜，所述第四驅動件能夠驅動所述裁剪件以所述連接臂第二端為中心，并沿所述壓合板邊緣旋轉，以將位于所述承載臺上方的藍膜裁切；所述連接臂設置在所述壓合板上方，且所述連接臂與所述壓合板同軸設置，所述第二驅動件能夠帶動所述裁切裝置和壓合板同時在高度方向上移動；所述處理設備還包括展平裝置，所述展平裝置包括沿第二方向設置在所述藍膜上方的展平板、與所述展平板端部連接的滑塊以及設置在所述工作臺上的滑軌和與所述展平板連接的第五驅動件，所述第五驅動件能夠驅動所述展平板在所述滑軌和滑塊的作用下在第一方向移動，以使所述藍膜張緊。

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