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龍圖騰網(wǎng)恭喜杭州眾硅電子科技有限公司申請的專利一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119181656B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411693091.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法是由魏佳健;李淼設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法，包括以下步驟：檢測算法數(shù)據(jù)校準(zhǔn)，裝有已知位置晶圓的片盒放置于箱體；傳感器按設(shè)定速度和方向掃描片盒，并記錄每次觸發(fā)信號時間；對獲取的觸發(fā)信號計算處理；在校準(zhǔn)狀態(tài)下，根據(jù)第一處理信號及已知晶圓的相對位置，計算得出片盒相鄰兩層間隔距離及第一層晶圓位置；進入工作狀態(tài)，裝有未知位置晶圓的片盒放置于箱體，傳感器按照設(shè)定的速度和方向掃描片盒，記錄每次觸發(fā)信號的時間；對獲取的觸發(fā)信號計算進行處理；得到片盒內(nèi)所有晶圓的相對位置信息。本發(fā)明解決了晶圓傾斜放置在帶有流體介質(zhì)的片盒內(nèi)無法準(zhǔn)確定位檢測的問題，為后續(xù)的晶圓抓取提供了準(zhǔn)確的定位檢測。

本發(fā)明授權(quán)一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備的晶圓定位檢測方法，其特征在于：包括以下步驟，檢測算法數(shù)據(jù)校準(zhǔn)，裝有已知位置晶圓的片盒放置于箱體內(nèi)，該箱體內(nèi)置有流體介質(zhì)，所述片盒具有用于放置晶圓的多層結(jié)構(gòu)；傳感器按照設(shè)定的速度和方向掃描片盒，并記錄每次觸發(fā)信號的時間；所述傳感器發(fā)射的信號與晶面平行或趨于平行；所述觸發(fā)信號為時間序列信號，其為上升沿，或者，其為下降沿，或者，其為上升沿和下降沿的組合；對獲取的觸發(fā)信號計算進行處理，以去除流體介質(zhì)對其造成的干擾信號；在校準(zhǔn)狀態(tài)下，根據(jù)去除干擾信號后的第一處理信號，及已知晶圓的相對位置，計算得出片盒相鄰兩層間隔時間及第一層晶圓信號觸發(fā)時間，并根據(jù)傳感器掃描速度計算得到片盒相鄰兩層間隔距離及第一層晶圓位置；進入工作狀態(tài)，裝有未知位置晶圓的片盒放置于箱體內(nèi)，該箱體內(nèi)置有流體介質(zhì)，傳感器按照設(shè)定的速度和方向掃描片盒，并記錄每次觸發(fā)信號的時間；對獲取的觸發(fā)信號計算進行處理，以去除流體介質(zhì)對其造成的干擾信號；將工作狀態(tài)下去除干擾信號后的第二處理信號，根據(jù)傳感器掃描速度轉(zhuǎn)換為晶圓位置信息，并與校準(zhǔn)狀態(tài)下得出的片盒相鄰兩層間隔距離及第一層晶圓位置進行運算，得到片盒內(nèi)所有晶圓的相對位置信息，將片盒內(nèi)晶圓的位置信息傳輸至控制器，用于控制傳輸裝置抓取晶圓。

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