恭喜四川吉利學院孟雪琴獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜四川吉利學院申請的專利基于人工智能的半導體自動化檢測方法及檢測設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119669883B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510188342.9,技術領域涉及:G06F18/2411;該發明授權基于人工智能的半導體自動化檢測方法及檢測設備是由孟雪琴;傅奕寧設計研發完成,并于2025-02-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于人工智能的半導體自動化檢測方法及檢測設備在說明書摘要公布了:本發明涉及數據處理領域,具體提供一種基于人工智能的半導體自動化檢測方法及檢測設備,通過獲取包括s個按時序排列的監測序列信息的半導體設備運行監測信息,s≥2;獲取s個監測序列信息分別對應的專屬運行狀態表征數組;基于半導體設備運行監測信息中前r個監測序列信息分別對應的專屬運行狀態表征數組,構建不間斷運行狀態表征數組;基于不間斷運行狀態表征數組和第s個監測序列信息對應的專屬運行狀態表征數組,構建第s個監測序列信息對應的目標運行狀態表征數組;基于第s個監測序列信息對應的目標運行狀態表征數組,獲得第s個監測序列信息對應的設備運行狀態。本發明可以提高設備運行狀態確定的可理解性和設備運行狀態的可靠性。
本發明授權基于人工智能的半導體自動化檢測方法及檢測設備在權利要求書中公布了:1.一種基于人工智能的半導體自動化檢測方法,其特征在于,所述方法包括:獲取半導體設備運行監測信息,所述半導體設備運行監測信息包括s個按時序排列的監測序列信息,其中,s≥2;所述半導體設備運行監測信息包括半導體設備在運行期間產生的時序性數據;對所述半導體設備運行監測信息進行預處理,獲得預處理后的半導體設備運行監測信息,所述預處理后的半導體設備運行監測信息為完成數據清洗后的信息;基于所述預處理后的半導體設備運行監測信息,獲取所述s個監測序列信息分別對應的編碼數組表示;基于所述s個監測序列信息分別對應的編碼數組表示,獲取所述s個監測序列信息分別對應的專屬運行狀態表征數組,所述專屬運行狀態表征數組用于表征所述監測序列信息;基于前r個監測序列信息分別對應的專屬運行狀態表征數組,獲取所述前r個監測序列信息分別對應的重要性系數;對所述前r個監測序列信息分別對應的專屬運行狀態表征數組進行映射變換,獲得所述前r個監測序列信息分別對應的映射變換數組;基于所述前r個監測序列信息分別對應的重要性系數,對所述前r個監測序列信息分別對應的映射變換數組進行整合,獲得不間斷運行狀態表征數組,所述不間斷運行狀態表征數組用于表征所述半導體設備運行監測信息,是對前r個監測序列信息特征的整合,用于體現半導體設備在一個時間段內的連續運行狀態,其中,1≤r<s;對所述不間斷運行狀態表征數組和第s個監測序列信息對應的專屬運行狀態表征數組進行組合,構建所述第s個監測序列信息對應的目標運行狀態表征數組;通過半導體設備狀態識別網絡,基于所述第s個監測序列信息對應的目標運行狀態表征數組作為輸入,對所述第s個監測序列信息進行狀態識別,輸出所述第s個監測序列信息對應的設備運行狀態。
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