恭喜東京毅力科創株式會社山脅陽平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利基板加工裝置和基板加工方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113924640B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080039357.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板加工裝置和基板加工方法是由山脅陽平;中野征二;川口義廣;児玉宗久設計研發完成，并于2020-05-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板加工裝置和基板加工方法在說明書摘要公布了：一種基板加工裝置，其具備：卡盤，其將基板保持為水平；加工單元，其將加工工具壓靠于由所述卡盤保持著的狀態的所述基板的外周，加工所述基板；以及下杯，其在所述基板的外周整周的范圍內回收從所述基板落下的加工屑，在所述下杯形成有排出所述加工屑的排出口。
本發明授權基板加工裝置和基板加工方法在權利要求書中公布了：1.一種基板加工裝置，其具備：卡盤，其將基板保持為水平；加工單元，其將加工工具壓靠于由所述卡盤保持著的狀態的所述基板的外周，加工所述基板；以及下杯，其在所述基板的外周整周的范圍內回收從所述基板落下的加工屑，在所述下杯形成有排出所述加工屑的排出口，所述下杯具有在俯視時比所述基板大的下筒部和封堵所述下筒部的下端的開口部的下蓋部，在所述下蓋部形成有所述排出口，所述下筒部包括避免所述下筒部與所述加工單元之間的干涉的缺口，所述加工單元具有：加工工具安裝部，其安裝所述加工工具；和驅動部，其使所述加工工具安裝部在從側方相對于所述卡盤接觸、分離的方向上進退。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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