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龍圖騰網恭喜廣東先導先進材料股份有限公司申請的專利晶片清洗夾持裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111916378B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010989384.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶片清洗夾持裝置是由廖彬;周鐵軍;劉興達設計研發完成，并于2020-09-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶片清洗夾持裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種晶片清洗夾持裝置，其包括：安裝頭、位置調節板和角度調節組件。安裝頭安裝晶片。位置調節板連接于安裝頭，且位置調節板用于調節晶片相對沖水口的沖水位置。角度調節組件連接于位置調節板，且角度調節組件用于調節晶片相對沖水口的沖水角度。由于安裝頭可通過位置調節板調整安裝頭相對沖水口的位置、通過角度調節組件調整安裝頭相對沖水口的角度，則本申請的晶片清洗夾持裝置能夠實現對晶片相對沖水口的位置和角度的快速調整、并保證沖水口能夠始終以最佳的角度和位置對不同類型或不同尺寸的晶片進行沖洗，從而使得晶片能夠達到最佳的沖水效果，由此減少了因沖水問題導致的晶片表面問題，提高了晶片沖水效率和晶片表面質量。

本發明授權晶片清洗夾持裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶片清洗夾持裝置，其特征在于，包括安裝頭（1）、位置調節板（2）和角度調節組件（3）；安裝頭（1）用于安裝需要清洗的晶片，以使沖水口對晶片進行沖洗；位置調節板（2）連接于安裝頭（1），且位置調節板（2）用于調節安裝頭（1）上的晶片相對沖水口的沖水位置；角度調節組件（3）連接于位置調節板（2），且角度調節組件（3）用于調節安裝頭（1）上的晶片相對沖水口的沖水角度；沖水角度是指：當固定沖水口位置不變，將晶片豎立并垂直水平方向時為基準面，沖水口沖水垂直于晶片表面，而晶片順時針旋轉的角度即為晶片沖水時的沖水角度；安裝頭（1）還設置有第一連接孔（11B）和第一固定孔（11C），位置調節板（2）設置有第二連接孔（21）和導向槽（22）；安裝頭（1）通過第一連接孔（11B）、第二連接孔（21）與位置調節板（2）可轉動地連接，且第一固定孔（11C）面向導向槽（22）設置并可選擇地與導向槽（22）的對應位置固定連接；角度調節組件（3）包括定位板（31）和角度調節板（32），角度調節板（32）的一端可轉動地連接于定位板（31）、另一端可選擇地固定安裝于定位板（31）上的對應位置；定位板（31）設置有第二安裝孔（311）和多個第一定位孔（312），且所述多個第一定位孔（312）間隔設置并排列成弧形；角度調節板（32）的所述一端通過第二安裝孔（311）可轉動地連接于定位板（31）、所述另一端可選擇地固定安裝于對應的第一定位孔（312）。

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