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龍圖騰網恭喜科磊股份有限公司申請的專利在掃描及靜態模式中的敏感光學計量獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114450575B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080067074.0，技術領域涉及：G01N21/17；該發明授權在掃描及靜態模式中的敏感光學計量是由A·希爾;A·瑪納森;Y·于齊耶爾;Y·西蒙;G·拉雷多設計研發完成，并于2020-09-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本在掃描及靜態模式中的敏感光學計量在說明書摘要公布了：一種計量系統可包含用于在其中樣本上的一或多個計量目標在測量期間靜止的靜態模式中或其中一或多個計量目標在測量期間處于運動中的掃描模式中選擇性地執行計量測量的計量工具及通信地耦合到平移載物臺及一或多個檢測器中的至少一者的控制器。所述控制器可接收待檢驗的所述樣本上的計量目標的位置，針對使用所述靜態模式或所述掃描模式的檢驗指定所述計量目標，基于所述指定引導所述計量工具在所述靜態模式或所述掃描模式中對所述計量目標執行計量測量，及基于對所述計量目標的所述計量測量產生所述樣本的計量數據。

本發明授權在掃描及靜態模式中的敏感光學計量在權利要求書中公布了：1.一種計量系統，其包括：計量工具，其經配置以在其中樣本上的一或多個計量目標在測量期間靜止的靜態模式中或其中一或多個計量目標在測量期間處于運動中的掃描模式中選擇性地執行計量測量，其中所述計量工具包括TDI傳感器，所述TDI傳感器包含多個像素行及多通道成像子系統，所述多通道成像子系統經配置以在檢測器的曝光窗口中循序提供用于使樣本成像的N個光學配置且在與所述曝光窗口相關聯的所述檢測器的讀出階段期間產生所述樣本的N個圖像，其中N是大于1的整數，其中所述N個圖像中的特定圖像對應于所述N個光學配置中的特定光學配置，其中所述多通道成像子系統的一或多個光學器件包括柱面透鏡陣列，其經配置以將從所述樣本發出的光引導到所述TDI傳感器的每第N個像素行，其中所述計量工具經配置以通過以下各者而執行掃描模式測量：沿垂直于所述像素行的掃描方向按所述TDI傳感器的電荷傳送速率平移所述樣本；循序提供用于使所述樣本成像的所述N個光學配置，其中所述多通道成像子系統的連續光學配置之間的切換時間對應于所述TDI傳感器的所述電荷傳送速率；使用所述TDI傳感器在所述曝光窗口期間產生包含所述N個圖像的交錯圖像；及將所述交錯圖像分離成所述N個圖像；及控制器，其通信地耦合到平移載物臺及所述TDI傳感器，所述控制器包含經配置以執行程序指令的一或多個處理器，所述程序指令引起所述一或多個處理器：接收待檢驗的所述樣本上的多個計量目標的位置；針對使用所述靜態模式或所述掃描模式的檢驗指定所述多個計量目標；基于所述指定引導所述計量工具在所述靜態模式或所述掃描模式中對所述多個計量目標執行計量測量；及基于對所述多個計量目標的所述計量測量產生所述樣本的計量數據。

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