恭喜清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司張科獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司申請的專利電子束檢測裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114646996B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011497817.6，技術領域涉及：G01T1/29；該發明授權電子束檢測裝置及檢測方法是由張科;陳果;柳鵬;姜開利;范守善設計研發完成，并于2020-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子束檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種電子束檢測裝置，包括：一多孔碳材料層，所述多孔碳材料層具有一通孔，該多孔碳材料層由多個碳材料顆粒組成，該多個碳材料顆粒之間存在納米級或微米級間隙，且該通孔的橫截面積小于等于待測電子束的橫截面積；一法拉第杯，該法拉第杯設置于所述多孔碳材料層下面，該法拉第杯具有一開口，該開口與所述碳納米管多孔層的通孔貫通設置；以及一圖像顯示器，該圖像顯示器與所述多孔碳材料層電連接，該圖像顯示器根據多孔碳材料層中產生的電荷多少形成顏色不同的圖像，根據圖像顯示器中圖像的顏色得到待測電子束的圖像。本發明還提供一種電子束的檢測方法。
本發明授權電子束檢測裝置及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種電子束檢測裝置，包括：一多孔碳材料層，所述多孔碳材料層具有一通孔貫穿其厚度方向，該通孔的橫截面積小于等于待測電子束的橫截面積，該多孔碳材料層由多個碳材料顆粒組成，該多個碳材料顆粒之間存在納米級或微米級間隙；一法拉第杯，該法拉第杯設置于所述多孔碳材料層下方，該法拉第杯具有一開口，該開口與所述多孔碳材料層的通孔貫通設置；以及一圖像顯示器，該圖像顯示器與所述多孔碳材料層電連接，該圖像顯示器根據多孔碳材料層中產生的電荷多少形成顏色不同的圖像，根據圖像顯示器中圖像的顏色得到待測電子束的圖像。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司，其通訊地址為：100084 北京市海淀區清華大學清華-富士康納米科技研究中心401室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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