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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利校準(zhǔn)設(shè)備和校準(zhǔn)方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115346890B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110526930.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)校準(zhǔn)設(shè)備和校準(zhǔn)方法是由陳魯;金建高;張鵬斌;張嵩設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-05-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本校準(zhǔn)設(shè)備和校準(zhǔn)方法在說明書摘要公布了：本申請的校準(zhǔn)設(shè)備用于校準(zhǔn)待校準(zhǔn)件，校準(zhǔn)設(shè)備包括承載件和多個定位件。待校準(zhǔn)件承載在承載件上；定位件可在預(yù)定行程內(nèi)移動，預(yù)定行程包括目標(biāo)位置，當(dāng)多個定位件均位于對應(yīng)的目標(biāo)位置時，多個定位件圍成預(yù)定的定位空間，待校準(zhǔn)件位于定位空間并與多個定位件均抵觸。本申請的校準(zhǔn)設(shè)備和校準(zhǔn)方法通過承載件承載待校準(zhǔn)件，通過多個可在預(yù)定行程內(nèi)移動的定位件移動到對應(yīng)的目標(biāo)位置，從而使得待校準(zhǔn)件被準(zhǔn)確地定位到預(yù)定的定位空間內(nèi)，快速完成待校準(zhǔn)件的位置校準(zhǔn)，使得待校準(zhǔn)件在被機械手抓取時位置始終保持不變，從而使得機械手抓取待校準(zhǔn)件移動到檢測設(shè)備上時，待校準(zhǔn)件始終位于檢測設(shè)備上同一預(yù)定位置，從而保證了待校準(zhǔn)件的檢測效果和檢測效率。

本發(fā)明授權(quán)校準(zhǔn)設(shè)備和校準(zhǔn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種校準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于，用于校準(zhǔn)待校準(zhǔn)件，所述校準(zhǔn)設(shè)備包括：承載件，所述待校準(zhǔn)件承載在所述承載件上；多個定位件，所述定位件可在預(yù)定行程內(nèi)移動，所述預(yù)定行程包括目標(biāo)位置，當(dāng)多個所述定位件均位于對應(yīng)的所述目標(biāo)位置時，多個所述定位件圍成預(yù)定的定位空間，所述待校準(zhǔn)件位于所述定位空間并與多個所述定位件均抵觸；所述定位件包括驅(qū)動部和移動部，所述移動部包括定位面，所述驅(qū)動部驅(qū)動所述移動部在所述預(yù)定行程內(nèi)移動，以改變所述定位空間的形狀和大小；所述定位面包括第一定位面和第二定位面，所述定位空間包括第一定位空間和第二定位空間，所述第一定位面圍成所述第一定位空間，所述第二定位面圍成所述第二定位空間，所述第一定位空間大于所述第二定位空間；所述第一定位面和所述第二定位面之間的距離根據(jù)所述第一定位空間和所述第二定位空間的大小確定；所述移動部為階梯狀，每個所述階梯包括階梯面和與所述階梯面對應(yīng)的定位面，根據(jù)階梯的數(shù)量根據(jù)所述定位面包含的數(shù)量確定；所述承載件包括承載板和多個設(shè)置在所述承載板的支撐柱，所述支撐柱包括支撐面，所述承載板包括第一承載部和第二承載部，所述第一承載部包圍所述第二承載部，所述支撐柱包括第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱設(shè)置在所述第一承載部上，所述第二支撐柱設(shè)置在所述第二承載部上，所述第一支撐柱的所述支撐面高于所述第二支撐柱的所述支撐面。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人深圳中科飛測科技股份有限公司，其通訊地址為：518110 廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。