恭喜罕王微電子(遼寧)有限公司黃向向獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜罕王微電子(遼寧)有限公司申請的專利一種具有片上溫度補償的雙諧振器及生產工藝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113992179B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111469524.1，技術領域涉及：H03H9/02；該發明授權一種具有片上溫度補償的雙諧振器及生產工藝是由黃向向;楊敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;關健;孫斯佳設計研發完成，并于2021-12-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種具有片上溫度補償的雙諧振器及生產工藝在說明書摘要公布了：一種具有片上溫度補償的雙諧振器，錨點通過彈簧與振蕩器連接，驅動電極和感應電極與振蕩器連接，振蕩器表面帶有重摻雜氧化層；分為高溫振蕩器和低溫振蕩器兩段，低溫振蕩器與MEMS芯片邊緣呈15?40度的夾角。一種具有片上溫度補償的雙諧振器的生產工藝，刻蝕電極和低溫振蕩器天窗：通過深紫外刻蝕技術在SOI的器件層上刻蝕天窗，以形成振蕩器與金屬導線間的歐姆接觸，沉積金屬電極；將MEMS晶圓與電路晶圓鍵合：減薄拋光，形成終端互聯。本發明的優點：通過頻率溫度補償調整諧振器固有頻率，提高壓力傳感器的輸出精度，可以應用于MEMS諧振式壓力傳感器，或定時諧振器，過濾器，陀螺儀，諧振式化學傳感器等領域。
本發明授權一種具有片上溫度補償的雙諧振器及生產工藝在權利要求書中公布了：1.一種具有片上溫度補償的雙諧振器，其特征在于：所述的具有片上溫度補償的雙諧振器，包括錨點1，彈簧2，振蕩器3，驅動電極4，感應電極5，重摻雜氧化層6；錨點1通過彈簧2與振蕩器3連接，驅動電極4和感應電極5與振蕩器3連接，振蕩器3表面帶有重摻雜氧化層6；分為高溫振蕩器和低溫振蕩器兩段，低溫振蕩器與MEMS芯片邊緣呈15-40度的夾角，以提高鐘擺的熱性能，有效提高溫控靈敏度，對低溫振蕩器進行重摻雜，摻雜元素是硼，砷，磷元素用以提高其熱性能。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人罕王微電子(遼寧)有限公司，其通訊地址為：113000 遼寧省撫順市經濟開發區北厚西出口21#樓(一層)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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