恭喜中國電子科技集團公司第四十四研究所李睿智獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第四十四研究所申請的專利基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114156295B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111488185.1,技術領域涉及:H10F39/18;該發明授權基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器及其制作方法是由李睿智;張勇;黃建;張曉琴;高建威設計研發完成,并于2021-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器及其制作方法,包括:在背照式圖像傳感器的表面制作多光譜濾光器陣列;在光學玻璃片的下表面制作下微透鏡陣列,在背照式圖像傳感器上旋涂光敏型鍵合膠,并進行圖形化處理形成與下微透鏡陣列相對應的圖案;將光學玻璃片和背照式圖像傳感器鍵合在一起;在光學玻璃片的上表面制作上微透鏡陣列;制作金屬電極。本發明中,圖像傳感器的進光方式采用了背照式,具有靈敏度高、膜系可設計性高、工藝可控性高的特點。濾光器基于F?P標準具原理,結構簡單,相對于傳統的多光譜成像系統,省去了笨重的色散或干涉分光系統。采用雙透鏡結構能明顯提高圖像傳感器的填充因子,提高占空比,降低譜段串擾。
本發明授權基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種基于雙透鏡陣列的凝視型多光譜圖像傳感器制作方法,其特征在于,包括以下步驟:取一背照式圖像傳感器晶圓;在背照式圖像傳感器晶圓上,對應每一背照式圖像傳感器分別制作多光譜濾光器陣列,所述多光譜濾光器陣列包括與背照式圖像傳感器的像元一一對應的基于F-P標準具原理的多光譜濾光器,每一所述多光譜濾光器分別位于對應像元的光敏區正上方的位置處;取一與背照式圖像傳感器晶圓尺寸相適配的光學玻璃片;在所述光學玻璃片的下表面制作下微透鏡陣列,所述下微透鏡陣列包括多個下微透鏡,所述下微透鏡與多光譜濾光器一一對應,且所述下微透鏡的尺寸與所述多光譜濾光器相適配;在背照式圖像傳感器上旋涂光敏型鍵合膠;對光敏型鍵合膠進行圖形化處理,形成與下微透鏡陣列相對應的圖案;使每一下微透鏡分別位于對應位置多光譜濾光器的正上方,將光學玻璃片和背照式圖像傳感器鍵合在一起,并高溫固化;在所述光學玻璃片的上表面制作上微透鏡陣列,所述上微透鏡陣列包括多個上微透鏡,所述上微透鏡與下微透鏡一一對應,且所述上微透鏡的尺寸大于所述下微透鏡的尺寸;將金屬電極連接至對應的電路系統,形成凝視型多光譜圖像傳感器。
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