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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所申請的專利基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114487746B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210049352.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R31/26；該發(fā)明授權(quán)基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)是由邵國鍵;林罡;陳正廉;孫軍;劉柱;陳韜;陳堂勝設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-01-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)，包括測試夾具、源極直流電源、柵極直流電源、漏極直流電源和EMMI平臺；化合物半導(dǎo)體器件裝配在測試夾具中，EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件在不加電情況下的背景噪聲信號；然后采用源極、柵極和漏極直流電源通過測試夾具使得化合物半導(dǎo)體器件處于不同工作狀態(tài)，同時EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件的光信號，并扣除背景噪聲信號，生成化合物半導(dǎo)體器件在工作狀態(tài)下的EMMI分析圖，并分析化合物半導(dǎo)體器件是否失效，根據(jù)EMMI分析圖對失效的化合物半導(dǎo)體器件失效部位定位。本發(fā)明創(chuàng)新性的將器件的直流工作狀態(tài)與電致發(fā)光原理相結(jié)合，實現(xiàn)化合物半導(dǎo)體器件的測試。

本發(fā)明授權(quán)基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)，其特征在于，包括測試夾具、源極直流電源、柵極直流電源、漏極直流電源和EMMI平臺；化合物半導(dǎo)體器件裝配于測試夾具中，所述EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件在不加電情況下的背景噪聲信號；然后采用源極直流電源、柵極直流電源和漏極直流電源通過測試夾具使得化合物半導(dǎo)體器件處于不同工作狀態(tài)；所述EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件在不同工作狀態(tài)下的光信號，并扣除背景噪聲信號，生成化合物半導(dǎo)體器件在工作狀態(tài)下的EMMI分析圖，工作人員根據(jù)EMMI分析圖分析化合物半導(dǎo)體器件是否失效，并根據(jù)EMMI分析圖對失效的化合物半導(dǎo)體器件失效部位定位；所述不同工作狀態(tài)包括源極-柵極加電的工作狀態(tài)，柵極-漏極加電的工作狀態(tài)以及源極-柵極-漏極均加電的工作狀態(tài)；采用源極直流電源和柵極直流電源通過夾具分別與化合物半導(dǎo)體器件的源極柵極連接，為化合物半導(dǎo)體器件提供直流激勵電源使得化合物半導(dǎo)體處于的源極-柵極加電的工作狀態(tài)；采用柵極直流電源和漏極直流電源通過夾具分別與化合物半導(dǎo)體器件的柵極，漏極連接，為化合物半導(dǎo)體器件提供直流激勵電源使得化合物半導(dǎo)體處于的柵極-漏極加電的工作狀態(tài)；采用源極直流電源，柵極直流電源和漏極直流電源通過夾具分別與化合物半導(dǎo)體器件的源極，柵極，漏極連接，為化合物半導(dǎo)體器件提供直流激勵電源使得化合物半導(dǎo)體處于的柵極-漏極加電的工作狀態(tài)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所，其通訊地址為：210016 江蘇省南京市秦淮區(qū)中山東路524號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。