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龍圖騰網恭喜中國科學院大連化學物理研究所申請的專利一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114637170B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210179462.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置是由焦志潤;王黑龍設計研發完成，并于2022-02-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置。本發明包括裝置殼體和設置于所述裝置殼體內的聲學產生及傳播裝置，本發明在保證高穩定性和高效率的條件下，將錫液體局部加熱部分與聲學產生裝置分隔開，解決了聲學產生裝置無法在高溫下工作的問題。本發明聲學產生裝置在錫滴產生裝置內部獨立安裝，可以極大程度上保證外界的微擾減少至最小。此外，小孔的更換非常容易，可以快速在裝置外部完成。利用此發明即可實現錫滴極高的空間穩定性極和好的高頻重復性，從而為LPP光源提供良好的錫滴束源。

本發明授權一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置在權利要求書中公布了：1.一種極紫外光源的液滴錫靶供應裝置，其特征在于，包括裝置殼體和設置于所述裝置殼體內的聲學產生及傳播裝置，所述裝置殼體包括主殼體和設置在上的第一端蓋板、第二端蓋板，所述第一端蓋板上集成有存儲液態錫的腔室以及與該腔室相連的小孔蓋板，所述存儲液態錫的腔室連接有供料管，所述小孔蓋板上設有供錫液滴流流動的小孔，第一端蓋板上還連接有集成加壓裝置和溫度調節裝置，所述集成加壓裝置用于向存儲液態錫的腔室中加壓，得到連續的錫噴射流，所述溫度調節裝置用于調節第一端蓋板的溫度，所述聲學產生及傳播裝置的輸出端與所述存儲液態錫的腔室相連，其用于將連續的錫噴射流變為穩定的錫液滴流，所述聲學產生及傳播裝置配套有主動制冷裝置，所述第二端蓋板上設有供主動制冷裝置連接的通道；所述聲學產生及傳播裝置的輸出端通過特制件與第一端蓋板上的存儲液態錫的腔室相連，所述特制件包括薄膜和尾桿，所述特制件一側為第一端蓋板，另一側為特制件蓋板，聲學產生及傳播裝置的輸出端與特制件尾桿進行連接，將產生的聲學振動傳到特制件薄膜上，從而驅動錫滴產生裝置產生穩定的錫滴；所述聲學產生及傳播裝置包括壓電陶瓷蓋帽、壓電陶瓷、壓電陶瓷底座以及聲學傳送桿，所述壓電陶瓷的輸出端與所述聲學傳送桿相連，所述壓電陶瓷安裝在壓電陶瓷底座上，所述壓電陶瓷蓋帽壓緊在所述壓電陶瓷上。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院大連化學物理研究所，其通訊地址為：116000 遼寧省大連市沙河口區中山路457號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。