恭喜株式會社國際電氣森田慎也獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社國際電氣申請的專利爐口部結構、基板處理裝置以及半導體裝置的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115841937B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210870323.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權爐口部結構、基板處理裝置以及半導體裝置的制造方法是由森田慎也;中島誠世;阿部賢卓;原田和宏;越保信;野原慎吾設計研發完成，并于2022-07-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本爐口部結構、基板處理裝置以及半導體裝置的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種爐口部結構、基板處理裝置以及半導體裝置的制造方法，能夠抑制以構成爐口部的部件為發生源的基板的金屬污染。根據本公開的一方式，具備：上側入口部，其經由第一密封部件與設置于反應管的下部的第一突部連接，并對所述反應管進行支撐；下側入口部，其經由第二密封部件與該上側入口部連接；以及固定環，其與該上側入口部連結，并固定所述第一突部，并且構成為：所述上側入口部配置在設置于所述反應管的下部的排氣管的下方，使冷卻介質在設置于所述上側入口部和所述固定環各自的內部的流路中流通，從而能夠對所述第一突部進行冷卻。
本發明授權爐口部結構、基板處理裝置以及半導體裝置的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種爐口部結構，其特征在于，具備：上側入口部，其經由第一密封部件與設置于反應管的下部的第一突部連接，并對所述反應管進行支撐；下側入口部，其經由第二密封部件與該上側入口部連接；固定環，其與該上側入口部連結，并固定所述第一突部；以及第二突部，其設置于所述反應管的下端，且以不與所述下側入口部抵接且覆蓋所述上側入口部的內壁的至少一部分的方式向下側突出，并且構成為：所述上側入口部配置在設置于所述反應管的下部的排氣管的下方，使冷卻介質在設置于所述上側入口部和所述固定環各自的內部的流路中流通，從而能夠對所述第一突部進行冷卻。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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