恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所劉兆武獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種長行程工作臺精密位移分步測量方法和裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115638734B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211343261.4,技術領域涉及:G01B11/02;該發明授權一種長行程工作臺精密位移分步測量方法和裝置是由劉兆武;王瑋;李文昊;姜珊;巴音賀希格;李爍設計研發完成,并于2022-10-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種長行程工作臺精密位移分步測量方法和裝置在說明書摘要公布了:一種長行程工作臺精密位移分步測量方法與裝置涉及精密測量領域,解決現有技術中長量程精密位移測量裝置無法精密測量運動的工作部件的技術問題。該裝置包括:測量反射鏡、雙直線導軌、第一測量干涉組件、第二測量干涉組件、電機組件和絲杠螺母副;絲杠螺母副中的絲杠兩端分別設置在電機組件和第一測量干涉組件上,保持固定的距離,絲杠螺母副中的螺母安裝在第二測量干涉組件上,通過電機組件帶動絲杠的轉動,改變第二測量干涉組件位于絲杠上的位置,調節第一測量干涉組件和第二測量干涉組件之間的距離;并使第一測量干涉組件、第二測量干涉組件和電機組件沿雙直線導軌運動;第一測量干涉組件和第二測量干涉組件分別檢測測量反射鏡上設置的被測物。
本發明授權一種長行程工作臺精密位移分步測量方法和裝置在權利要求書中公布了:1.一種長行程工作臺精密位移分步測量方法,其特征在于,該方法基于長行程工作臺精密位移分步測量裝置,該裝置包括:測量反射鏡、雙直線導軌、第一測量干涉組件、第二測量干涉組件、電機組件和絲杠螺母副;所述絲杠螺母副中的絲杠兩端分別設置在所述電機組件和所述第一測量干涉組件上,保持固定的距離,所述絲杠螺母副中的螺母安裝在所述第二測量干涉組件上,通過電機組件帶動所述絲杠的轉動,改變所述第二測量干涉組件位于所述絲杠上的位置,調節第一測量干涉組件和第二測量干涉組件之間的距離;并使第一測量干涉組件、第二測量干涉組件和電機組件沿所述雙直線導軌運動;所述第一測量干涉組件和第二測量干涉組件分別檢測測量反射鏡上設置的被測物;該方法包括如下步驟:步驟一:測量初始階段,將第二測量干涉組件靠近第一測量干涉組件設置,第一鉗制器和第二鉗制器鎖死,第一測量干涉組件、第二測量干涉組件與雙直線導軌相對靜止;將被測物靠近第一測量干涉組件;此時第一測量干涉組件的測量值與第二測量干涉組件的測量值相同,設為起始測量值;步驟二:被測物遠離第一測量干涉組件和第二測量干涉組件,第一測量干涉組件的測量值與第二測量干涉組件的測量值設為第一階段測量值;步驟三:被測物靜止,第二鉗制器鎖死,第一鉗制器放開,正向啟動電機,帶動絲杠旋轉,第二測量干涉組件與雙直線導軌相對靜止,電機與第一測量干涉組件相對靜止,并同步向被測物運動;當第一測量干涉組件運動至靠近被測物時,關閉電機,第一鉗制器和第二鉗制器鎖死,第一測量干涉組件、第二測量干涉組件與雙直線導軌相對靜止,將第二測量干涉組件的測量值覆蓋第一測量干涉組件的測量值,此時第一測量干涉組件的測量值與第二測量干涉組件的測量值相同,仍是第一階段測量值;步驟四:第一鉗制器鎖死,第二鉗制器放開,反向啟動電機,帶動絲杠旋轉,電機、第一測量干涉組件與雙直線導軌相對靜止,第二測量干涉組件向被測物方向運動;當第二測量干涉組件運動靠近第一測量干涉組件時,關閉電機,第一鉗制器和第二鉗制器鎖死,第一測量干涉組件、第二測量干涉組件與雙直線導軌相對靜止,將第一測量干涉組件的測量值覆蓋第二測量干涉組件的測量值,此時第一測量干涉組件的測量值與第二測量干涉組件的測量值相同,仍是第一階段測量值;此時第二測量干涉組件靠近第一測量干涉組件,被測物靠近第一測量干涉組件;步驟五:重復步驟二,并得出第二階段測量值;步驟六:重復步驟三-步驟五-步驟二的循環,直至工作臺運行整個行程,將所有階段測量值相加,實現一種長行程工作臺精密位移分步測量裝置的測量方法。
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