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龍圖騰網(wǎng)恭喜東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司申請(qǐng)的專利仿真壞點(diǎn)的修正方法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練方法及存儲(chǔ)介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117391040B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311277940.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/398；該發(fā)明授權(quán)仿真壞點(diǎn)的修正方法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練方法及存儲(chǔ)介質(zhì)是由張生睿;俞宗強(qiáng);施偉杰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-09-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本仿真壞點(diǎn)的修正方法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練方法及存儲(chǔ)介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種仿真壞點(diǎn)的修正方法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練方法及存儲(chǔ)介質(zhì)，本發(fā)明的仿真壞點(diǎn)的修正方法包括以下步驟：提供一掩模版圖，獲取該掩模版圖中的仿真壞點(diǎn)及對(duì)應(yīng)位置；獲取該掩模版圖對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)版圖，獲取并修正設(shè)計(jì)版圖中對(duì)應(yīng)的仿真壞點(diǎn)處圖形，得到修正后的新設(shè)計(jì)版圖；對(duì)新設(shè)計(jì)版圖做光學(xué)臨近修正得到新掩模數(shù)據(jù)；基于新掩模數(shù)據(jù)針對(duì)仿真壞點(diǎn)位置做光刻仿真驗(yàn)證，若仍存在仿真壞點(diǎn)，則持續(xù)修正設(shè)計(jì)版圖仿真壞點(diǎn)處圖形，直到仿真壞點(diǎn)完全修復(fù)；若無仿真壞點(diǎn)，則壞點(diǎn)已解決，輸出最終設(shè)計(jì)版圖。從設(shè)計(jì)版圖入手對(duì)仿真壞點(diǎn)位置進(jìn)行修正，更全面高效地解決了仿真壞點(diǎn)的問題。

本發(fā)明授權(quán)仿真壞點(diǎn)的修正方法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練方法及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種仿真壞點(diǎn)的修正方法，其特征在于：包括以下步驟：提供一掩模版圖，獲取該掩模版圖中的仿真壞點(diǎn)及對(duì)應(yīng)位置；獲取該掩模版圖對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)版圖，獲取并修正設(shè)計(jì)版圖中對(duì)應(yīng)的仿真壞點(diǎn)處圖形，得到修正后的新設(shè)計(jì)版圖，其中，修正設(shè)計(jì)版圖中對(duì)應(yīng)的仿真壞點(diǎn)包括：基于仿真壞點(diǎn)位置獲取預(yù)設(shè)優(yōu)化區(qū)域，對(duì)仿真壞點(diǎn)進(jìn)行局部掩模優(yōu)化，若還存在仿真壞點(diǎn)，則再對(duì)仿真壞點(diǎn)進(jìn)行局部設(shè)計(jì)版圖修正；對(duì)新設(shè)計(jì)版圖做光學(xué)臨近修正得到新掩模數(shù)據(jù)；基于新掩模數(shù)據(jù)針對(duì)仿真壞點(diǎn)位置做光刻仿真驗(yàn)證，若仍存在仿真壞點(diǎn)，則持續(xù)修正設(shè)計(jì)版圖仿真壞點(diǎn)處圖形，直到仿真壞點(diǎn)完全修復(fù)；若無仿真壞點(diǎn)，則壞點(diǎn)已解決，輸出最終設(shè)計(jì)版圖。

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