買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州錸鉑機(jī)電科技有限公司申請(qǐng)的專利壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具及加工方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117381659B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311323851.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B37/30；該發(fā)明授權(quán)壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具及加工方法是由謝華偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-10-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具及加工方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具，包括夾具外支架、夾具套筒、吸附頭和夾具內(nèi)軸，夾具外支架與夾具套筒固定連接，吸附頭與夾具內(nèi)軸的下端固定連接，吸附頭設(shè)置于夾具外支架內(nèi)，夾具內(nèi)軸設(shè)置在夾具套筒內(nèi)，夾具套筒上螺紋配合有壓力粗調(diào)鈕，壓力粗調(diào)鈕上連接有上基板，上基板通過拉壓力傳感器縱向連接有電機(jī)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)夾具內(nèi)軸相對(duì)夾具套筒縱向移動(dòng)，壓力粗調(diào)鈕轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)驅(qū)動(dòng)上基板、拉壓力傳感器、電機(jī)、絲桿螺母運(yùn)動(dòng)副以及夾具內(nèi)軸共同縱向移動(dòng)，拉壓力傳感器用于測(cè)量縱向拉壓力。本發(fā)明通過壓力粗調(diào)鈕調(diào)節(jié)壓力范圍，電機(jī)實(shí)時(shí)微調(diào)達(dá)到設(shè)定壓力，實(shí)現(xiàn)研磨過程中壓力的高精度測(cè)量及控制。

本發(fā)明授權(quán)壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具及加工方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種壓力可測(cè)量可控制調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體材料研磨加工夾具，其特征在于，包括夾具外支架、夾具套筒、吸附頭、夾具內(nèi)軸和控制器，所述夾具外支架與所述夾具套筒固定連接，所述吸附頭與所述夾具內(nèi)軸的下端固定連接，所述吸附頭設(shè)置于所述夾具外支架內(nèi)，所述夾具內(nèi)軸設(shè)置在所述夾具套筒內(nèi)，所述夾具套筒上螺紋配合有壓力粗調(diào)鈕，所述壓力粗調(diào)鈕上連接有上基板，所述上基板的下方通過拉壓力傳感器縱向連接有電機(jī)，所述電機(jī)通過絲桿螺母運(yùn)動(dòng)副與夾具內(nèi)軸的上端連接，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述夾具內(nèi)軸相對(duì)所述夾具套筒縱向移動(dòng)，所述壓力粗調(diào)鈕轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)驅(qū)動(dòng)所述上基板、所述拉壓力傳感器、所述電機(jī)、所述絲桿螺母運(yùn)動(dòng)副以及所述夾具內(nèi)軸共同縱向移動(dòng)，所述拉壓力傳感器用于測(cè)量縱向拉壓力，所述夾具外支架的頂面設(shè)有距離測(cè)量裝置，所述距離測(cè)量裝置用于測(cè)量所述吸附頭的縱向移動(dòng)距離，所述控制器分別與所述拉壓力傳感器、所述電機(jī)以及所述距離測(cè)量裝置電連接；對(duì)半導(dǎo)體材料研磨加工時(shí)將晶圓吸附于所述吸附頭的下端面并將所述半導(dǎo)體材料研磨加工夾具置于磨拋盤，先調(diào)整壓力粗調(diào)鈕使晶圓所受壓力Fw與所需加工壓力偏差不超過100g，再由控制器控制電機(jī)動(dòng)作使Fw達(dá)到所需加工壓力，其中Fw=W-F2，其中W為所述電機(jī)、所述夾具套筒、所述吸附頭和所述晶圓依次連接構(gòu)成的整體重量，所述F2為所述拉壓力傳感器測(cè)得的拉力，在磨拋過程中根據(jù)所述拉壓力傳感器測(cè)得的拉力變化和所述距離測(cè)量裝置測(cè)得的所述吸附頭的縱向移動(dòng)距離控制所述電機(jī)動(dòng)作使所述Fw穩(wěn)定在所需加工壓力。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州錸鉑機(jī)電科技有限公司，其通訊地址為：215500 江蘇省蘇州市常熟市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金都路8號(hào)10幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。