恭喜浜松光子學株式會社中村共則獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜浜松光子學株式會社申請的專利半導體檢查裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115326827B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210947735.X，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權半導體檢查裝置是由中村共則;巖城吉剛設計研發完成，并于2018-03-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體檢查裝置在說明書摘要公布了：檢查系統1具備：光源33；鏡40b；檢流計鏡44a、44b；殼體32，其在內部保持鏡40b與檢流計鏡44a、44b，且具有用于安裝光學元件的安裝部46；及控制部21a，其控制檢流計鏡44a、44b的偏轉角；控制部21a以在通過檢流計鏡44a、44b及鏡40b的第1光路L1與通過檢流計鏡44a、44b及安裝部46的第2光路L2之間切換與半導體器件D光學連接的光路的方式控制偏轉角，且以切換為第1光路L1時的偏轉角與切換為第2光路L2時的偏轉角不重復的方式控制偏轉角。
本發明授權半導體檢查裝置在權利要求書中公布了：1.一種半導體檢查裝置，其特征在于，是檢查半導體器件的半導體檢查裝置，具備：第1光源，其產生照射于所述半導體器件的光；鏡，其與所述第1光源光學連接；一對檢流計鏡，其設置于能夠經由所述鏡而與所述第1光源光學連接的位置；第1光檢測器，其與所述鏡光學連接且檢測來自所述半導體器件的光；偏光分束器，其使自所述第1光源輸出的光透過且使來自所述半導體器件的經由所述一對檢流計鏡的光朝向所述第1光檢測器反射；第1安裝部，其設置于能夠與所述一對檢流計鏡光學連接的位置且用于安裝光學元件；及控制部，其控制所述一對檢流計鏡的偏轉角，所述控制部以在通過所述一對檢流計鏡及所述鏡的第1光路與通過所述一對檢流計鏡及所述第1安裝部的第2光路之間切換與所述半導體器件光學連接的光路的方式控制所述偏轉角，并且以切換為所述第1光路時的所述偏轉角與切換為所述第2光路時的所述偏轉角不重復的方式控制所述偏轉角。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浜松光子學株式會社，其通訊地址為：日本靜岡縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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