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恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所王玉坤獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利用于低相干干涉檢測的消色差F-theta遠心掃描場鏡獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119376067B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411526229.9,技術領域涉及:G02B13/00;該發明授權用于低相干干涉檢測的消色差F-theta遠心掃描場鏡是由王玉坤;王孝坤;王大成;聶久程;楊程亮;薛棟林;張學軍設計研發完成,并于2024-10-30向國家知識產權局提交的專利申請。

用于低相干干涉檢測的消色差F-theta遠心掃描場鏡在說明書摘要公布了:本發明涉及一種用于低相干干涉檢測的消色差F?theta遠心掃描場鏡,涉及掃描場鏡光學設計技術領域。本發明的消色差F?theta遠心掃描場鏡,包括:從入瞳位置起,沿光軸方向依次設置的前鏡組和后鏡組;前鏡組包括沿光軸方向依次設置的:第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡;后鏡組包括沿光軸方向依次設置的:第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡。本發明的消色差F?theta遠心掃描場鏡,在色差控制與幾何像差校正方面,前后鏡組相對獨立,綜合作用使得全系統獲得更好的消色差以及像差校正效果。在F?theta畸變平衡方面,前后鏡組相互配合,最大限度地實現了F?theta畸變抵消。

本發明授權用于低相干干涉檢測的消色差F-theta遠心掃描場鏡在權利要求書中公布了:1.用于低相干干涉檢測的消色差F-theta遠心掃描場鏡,其特征在于,包括:從入瞳位置起,沿光軸方向依次設置的前鏡組和后鏡組;前鏡組包括沿光軸方向依次設置的:第一透鏡1、第二透鏡2、第三透鏡3;其中,第一透鏡1為正光焦度透鏡,第二透鏡2為負光焦度透鏡,第三透鏡3為正光焦度透鏡;后鏡組包括沿光軸方向依次設置的:第四透鏡4、第五透鏡5、第六透鏡6、第七透鏡7;其中,第四透鏡4為正光焦度透鏡,第五透鏡5為負光焦度透鏡,第六透鏡6為正光焦度透鏡,第七透鏡7為正光焦度透鏡;沿光線入射方向,第一透鏡1的入光面及出光面依次為第1曲面和第2曲面,第二透鏡2的入光面及出光面依次為第3曲面和第4曲面,第三透鏡3的入光面及出光面依次為第5曲面和第6曲面,第四透鏡4的入光面及出光面依次為第7曲面和第8曲面,第五透鏡5的入光面及出光面依次為第9曲面和第10曲面,第六透鏡6的入光面及出光面依次為第11曲面和第12曲面,第七透鏡7的入光面及出光面依次為第13曲面和第14曲面;第1曲面的曲率半徑為-33.0±5%mm,第2曲面的曲率半徑為-32.0±5%mm;第3曲面的曲率半徑為-33.0±5%mm,第4曲面的曲率半徑為-70.0±5%mm;第5曲面的曲率半徑為-2450.0±5%mm,第6曲面的曲率半徑為-110.0±5%mm;第7曲面的曲率半徑為3700.0±5%mm,第8曲面的曲率半徑為-160.0±5%mm;第9曲面的曲率半徑為-210.0±5%mm,第10曲面的曲率半徑為325.0±5%mm;第11曲面的曲率半徑為725.0±5%mm,第12曲面的曲率半徑為-230.0±5%mm;第13曲面的曲率半徑為390.0±5%mm,第14曲面的曲率半徑為-895.0±5%mm;第一透鏡1的中心厚度d1為15.0±5%mm,第二透鏡2的中心厚度d2為14.0±5%mm,第三透鏡3的中心厚度d3為15.5±5%mm,第四透鏡4的中心厚度d4為22.5±5%mm,第五透鏡5的中心厚度d5為7.0±5%mm,第六透鏡6的中心厚度d6為22.0±5%mm,第七透鏡7的中心厚度d7為17.0±5%mm;第一透鏡1與第二透鏡2的空氣間隔在光軸上的距離為10.0±5%mm,第二透鏡2與第三透鏡3的空氣間隔在光軸上的距離為5.0±5%mm,第三透鏡3與第四透鏡4的空氣間隔在光軸上的距離為90.0±5%mm,第四透鏡4與第五透鏡5的空氣間隔在光軸上的距離為9.0±5%mm,第五透鏡5與第六透鏡6的空氣間隔在光軸上的距離為9.0±5%mm,第六透鏡6與第七透鏡7的空氣間隔在光軸上的距離為5.0±5%mm。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院長春光學精密機械與物理研究所,其通訊地址為:130033 吉林省長春市東南湖大路3888號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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