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龍圖騰網恭喜上海晶鄺半導體科技有限公司申請的專利一種芯片制造用氣體的過濾分離系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119186212B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411686780.X，技術領域涉及：B01D53/26；該發明授權一種芯片制造用氣體的過濾分離系統是由田素利設計研發完成，并于2024-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種芯片制造用氣體的過濾分離系統在說明書摘要公布了：本申請涉及氣體過濾分離的技術領域，提供一種芯片制造用氣體的過濾分離系統，包括原料儲罐、過濾機構、濾料再生機構，過濾機構包括依次連通的顆粒過濾器、吸附過濾器和干燥器組，原料儲罐與顆粒過濾器相連通，干燥器組包括進氣主管、出氣主管、控流組件和多個干燥過濾器，進氣主管一端與吸附過濾器相連通，多個干燥過濾器并聯設置，控流組件用于控制不同的干燥過濾器連通至顆粒過濾器和出氣主管之間；濾料再生機構包括相互連通的加熱罐、第二驅動源和熱氣吹掃組件，熱氣吹掃組件對應干燥過濾器設置有多組，且熱氣吹掃組件位于干燥過濾器內。本申請能夠縮短停機時間的同時，減少外界雜質對特種氣體的二次污染，減輕過濾系統的過濾負擔。

本發明授權一種芯片制造用氣體的過濾分離系統在權利要求書中公布了：1.一種芯片制造用氣體的過濾分離系統，其特征在于，包括：原料儲罐（1），過濾機構，包括依次連通的顆粒過濾器（2）、吸附過濾器（3）和干燥器組（4），所述原料儲罐（1）與所述顆粒過濾器（2）相連通，所述干燥器組（4）包括進氣主管（41）、出氣主管（42）、控流組件（43）和多個干燥過濾器（44），所述進氣主管（41）一端與所述吸附過濾器（3）相連通，多個所述干燥過濾器（44）并聯設置，所述控流組件（43）用于控制不同的干燥過濾器（44）連通至所述顆粒過濾器（2）和出氣主管（42）之間；第一驅動源（5），連通于所述原料儲罐（1）與所述顆粒過濾器（2）之間用于驅動所述原料儲罐（1）內氣體朝所述顆粒過濾器（2）內流動；濾料再生機構（6），包括相互連通的加熱罐（61）、第二驅動源（62）和熱氣吹掃組件（63），所述熱氣吹掃組件（63）對應所述干燥過濾器（44）設置有多組，且所述熱氣吹掃組件（63）位于所述干燥過濾器（44）內，所述加熱罐（61）連通有供氣管（614），所述第二驅動源（62）用于驅動所述加熱罐（61）內氣體流向所述熱氣吹掃組件（63）；集氣儲罐（7），所述集氣儲罐（7）與所述出氣主管（42）相連通；所述供氣管（614）遠離所述加熱罐（61）的一端與所述集氣儲罐（7）相連通，所述供氣管（614）上設置有第三驅動源（64），所述第三驅動源（64）用于驅動所述集氣儲罐（7）內氣體朝所述加熱罐（61）內流動；其中，所述干燥過濾器（44）包括干燥罐（441）、液冷管（442），以及設置于所述干燥罐（441）內的濾料盛裝架（443）；所述干燥罐（441）上連通有排氣管（444）和排液管（445），所述排液管（445）上設置有排氣閥（4441），所述排液管（445）上設置有排液閥（4451）；所述液冷管（442）盤繞于所述濾料盛裝架（443）外圍，且液冷管（442）兩端均穿出所述干燥罐（441），所述干燥罐（441）還連通有真空泵（10）；調溫罐（8），所述調溫罐（8）上穿設有換熱管（83）；所述調溫罐（8）上連通有調溫進管（81）和調溫排管（82），所述調溫進管（81）與所述集氣儲罐（7）相連通，所述調溫進管（81）上還設置有測溫計（9）;所述控流組件（43）包括進氣分管（431）、出氣分管（432）、設置于所述進氣分管（431）上的第一通斷閥（433），以及設置于所述出氣分管（432）上的第二通斷閥（434），各所述干燥過濾器（44）上均連通有所述進氣分管（431）和所述出氣分管（432），且各所述進氣分管（431）遠離所述干燥過濾器（44）的一端均與所述進氣主管（41）相連通，各所述出氣分管（432）遠離所述干燥過濾器（44）的一端均與所述出氣主管（42）相連通;所述加熱罐（61）包括加熱罐體（611）和設置于所述加熱罐體（611）內的電磁加熱器（612）；熱氣吹掃組件（63）包括布氣網管（631）和連通于所述布氣網管（631）上的多個噴氣頭（632），所述布氣網管（631）與所述加熱罐（61）相連通，且所述布氣網管（631）位于所述濾料盛裝架（443）下方，所述噴氣頭（632）朝向所述濾料盛裝架（443）設置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海晶鄺半導體科技有限公司，其通訊地址為：201400 上海市奉賢區立新路281-289號(單)1層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。