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龍圖騰網(wǎng)恭喜晟盈半導(dǎo)體設(shè)備(江蘇)有限公司申請(qǐng)的專利晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119309493B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411848233.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/00；該發(fā)明授權(quán)晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置是由程郡;徐傳勇;孫文杰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置，其包括光路單元和圖像處理單元，光路單元包括呈環(huán)形陣列分布的多個(gè)光路發(fā)射部件、以環(huán)形陣列中心為基準(zhǔn)且對(duì)齊設(shè)置的光路反射部件；圖像處理單元包括與光路反射部件中心對(duì)齊且位于光路反射部件下方的視覺(jué)相機(jī)、圖像處理器。本發(fā)明一方面在保持密封環(huán)處于動(dòng)態(tài)中逐段獲取密封環(huán)的輪廓信息，并基于各段輪廓信息拼湊獲取完整的密封環(huán)輪廓圖像，有效降低外部因素的干擾，成像質(zhì)量高，同時(shí)在多段圖像的拼湊中能夠同時(shí)進(jìn)行圖像的對(duì)比檢驗(yàn)，提高檢測(cè)精度；另一方面通過(guò)光路發(fā)射部件與光路反射部件的配合，能夠在狹窄空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)更廣的成像范圍，便于集成于任意晶圓加工設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)密封環(huán)快速檢測(cè)，有利于提升生產(chǎn)效率。

本發(fā)明授權(quán)晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓密封環(huán)檢測(cè)裝置，其包括光路單元和圖像處理單元，其特征在于，光路單元包括呈環(huán)形陣列分布的多個(gè)光路發(fā)射部件、以環(huán)形陣列中心為基準(zhǔn)且對(duì)齊設(shè)置的光路反射部件，其中多個(gè)光路發(fā)射部件所發(fā)射的光束形成光束檢測(cè)區(qū)；圖像處理單元包括與光路反射部件中心對(duì)齊且位于光路反射部件下方的視覺(jué)相機(jī)、圖像處理器；密封環(huán)的中心線與環(huán)形陣列中心線平行地裝載于晶圓掛具上，檢測(cè)裝置還包括驅(qū)動(dòng)晶圓掛具沿著環(huán)形陣列徑向運(yùn)動(dòng)的移載器，密封環(huán)逐段經(jīng)過(guò)光束檢測(cè)區(qū)，光路反射部件逐段獲取密封環(huán)反射的輪廓信息，視覺(jué)相機(jī)將輪廓信息轉(zhuǎn)換成圖像信息并匯總至圖像處理器以拼湊成整個(gè)密封環(huán)輪廓，且基于密封環(huán)輪廓圖像檢測(cè)密封環(huán)的圓心位置；光束檢測(cè)區(qū)能夠覆蓋整個(gè)密封環(huán)，且隨著晶圓掛具的運(yùn)動(dòng)，密封環(huán)能夠保持部分或者整體處于光束檢測(cè)區(qū)內(nèi)；將密封環(huán)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程劃分為第一階段、第二階段以及第三階段，其中處于第一階段時(shí)，密封環(huán)的一部分處于光束檢測(cè)區(qū)內(nèi)并保持自身中心線逐漸靠近環(huán)形陣列中心線；處于第二階段時(shí)，密封環(huán)整體處于光束檢測(cè)區(qū)內(nèi)；處于第三階段時(shí)，密封環(huán)的另一部分處于光束檢測(cè)區(qū)內(nèi)并保持自身中心線逐漸遠(yuǎn)離環(huán)形陣列中心線，圖像處理器在第一階段和第三階段中逐段獲取圖像并拼湊得到第一整體輪廓圖像、在第二階段中獲取圖像并得到第二整體輪廓圖像，并基于第一整體輪廓圖像和第二整體輪廓圖像的對(duì)比以檢測(cè)密封環(huán)的圓心位置。

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