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龍圖騰網(wǎng)恭喜安徽萬(wàn)維克林精密裝備有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119480777B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510051604.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置是由周尤;姚華東;班恒生;劉柏宏;祝龍飛;李江設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置，涉及晶圓夾持搬運(yùn)的技術(shù)領(lǐng)域；而本發(fā)明包括連接盤(pán)，連接盤(pán)頂部設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)，連接盤(pán)頂部設(shè)有三組調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，本發(fā)明通過(guò)設(shè)置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使本申請(qǐng)的夾持件在夾持完成后，復(fù)位的途中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使夾持件每次夾持晶圓時(shí)，接觸面都會(huì)發(fā)生改變，避免夾持件夾持晶圓的接觸面始終不發(fā)生改變，能夠大大降低夾持件的磨損程度，降低維護(hù)成本，保證夾持的穩(wěn)定性，提高夾持件的夾持效果；通過(guò)設(shè)置擠壓機(jī)構(gòu)，使本申請(qǐng)的夾持件能夠在受到擠壓的時(shí)候，夾持件的夾角能夠發(fā)生改變，能夠應(yīng)對(duì)不同厚度的晶圓，從而能夠根據(jù)晶圓的厚度調(diào)節(jié)夾持件的夾角，進(jìn)一步提高夾持效果。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓夾持搬運(yùn)裝置，包括連接盤(pán)（1），其特征在于：所述連接盤(pán)（1）頂部設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)（3），所述連接盤(pán)（1）頂部設(shè)有三組調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）；所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）包括齒輪（200）、齒條（209）、導(dǎo)向槽（210）和導(dǎo)向塊（211），在對(duì)晶圓夾持的時(shí)候，夾持機(jī)構(gòu)（3）帶動(dòng)支撐套筒（300）移動(dòng)，此時(shí)導(dǎo)向塊（211）沿著導(dǎo)向槽（210）帶動(dòng)夾持件（6）移動(dòng)并最終夾持晶圓，在活動(dòng)板（204）、第一伸縮桿（205）和第一彈簧（206）的配合下使得第一轉(zhuǎn)軸（202）能夠進(jìn)行升降，從而導(dǎo)向塊（211）能夠進(jìn)行上下移動(dòng)，能夠帶動(dòng)齒輪（200）上下移動(dòng)，從而夾持件（6）夾持晶圓和復(fù)位的路線是不同的，從而在夾持件（6）復(fù)位的時(shí)候，齒輪（200）會(huì)與齒條（209）接觸，從而齒輪（200）轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)第一轉(zhuǎn)軸（202）和第二轉(zhuǎn)軸（207）轉(zhuǎn)動(dòng)，第二轉(zhuǎn)軸（207）帶動(dòng)夾持件（6）轉(zhuǎn)動(dòng)30度，在棘輪（500）和棘爪（502）的配合下能夠?qū)Φ诙D(zhuǎn)軸（207）進(jìn)行限位，保證夾持件（6）的穩(wěn)定性，使夾持件（6）與晶圓的接觸面發(fā)生改變。

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