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龍圖騰網恭喜北京日揚弘創智能裝備有限公司申請的專利用于晶圓干燥控制的系統、方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119542207B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510106008.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于晶圓干燥控制的系統、方法及裝置是由葛成重;耿喜平;關仁杰;郭占旗;王宏聲設計研發完成，并于2025-01-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于晶圓干燥控制的系統、方法及裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了用于晶圓干燥控制的系統、方法及裝置，其中，用于晶圓干燥的系統包括：干晶圓干燥設備、機械手臂、晶圓夾持手臂、以及PLC，其中，PLC，被配置為在確定晶圓夾持手臂夾持的半導體晶圓全進入晶圓干燥設備的干燥隧道的情況下，控制晶圓干燥設備的潔凈風刀開啟氣嘴，使得干燥氣體通過狹縫，對干燥隧道中的半導體晶圓進行干燥，并控制機械手臂對晶圓夾持手臂進行提升運行；以及，在確定半導體晶圓全被提升出干燥隧道的情況下，控制潔凈風刀停止噴射。這樣，可自動化實現晶圓的干燥，減少了人工操作，進而也減少了晶圓二次污染，提高晶圓的生產效率。

本發明授權用于晶圓干燥控制的系統、方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓干燥控制的系統，其特征在于，包括：晶圓干燥設備（4）、機械手臂（5）、晶圓夾持手臂（6）、以及PLC（7），其中，晶圓干燥設備（4）包括：用于插入夾持半導體晶圓（2）的晶圓夾持手臂（6）的干燥隧道，以及用于噴射干燥氣體的潔凈風刀（402），且干燥隧道上有兩條相對的狹縫，潔凈風刀（402）對稱分布在狹縫的兩側；PLC（7），被配置為在確定晶圓夾持手臂（6）夾持的半導體晶圓（2）全進入干燥隧道的情況下，控制潔凈風刀（402）開啟氣嘴，使得干燥氣體通過狹縫，對干燥隧道中的半導體晶圓（2）進行干燥，并控制機械手臂（5）對晶圓夾持手臂（6）進行提升運行；以及，在確定半導體晶圓（2）全被提升出干燥隧道的情況下，控制潔凈風刀（402）停止噴射；其中，晶圓干燥設備（4）還包括：與抽氣設備連接的負壓調節閥；PLC（7），還被配置為在確定晶圓夾持手臂（6）夾持的半導體晶圓（2）全進入干燥隧道的情況下，將負壓調節閥的閥門處于第一檔位，使得半導體晶圓（2）和晶圓夾持手臂（6）表面負壓層流干燥；以及，在確定半導體晶圓（2）全被提升出干燥隧道的情況下，將閥門處于第二檔位，使得晶圓干燥設備（4）保持潔凈，其中，第一檔位對應的流量大于第二檔位對應的流量。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京日揚弘創智能裝備有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區青云店鎮青正街8號546室平房(集群注冊)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。