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龍圖騰網(wǎng)恭喜歐瑞康表面解決方案股份公司,普費菲孔申請的專利等離子體源的用于執(zhí)行等離子體處理的電極裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113366600B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980091443.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)等離子體源的用于執(zhí)行等離子體處理的電極裝置是由J·費特爾設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-12-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本等離子體源的用于執(zhí)行等離子體處理的電極裝置在說明書摘要公布了：為了改善襯底的蝕刻深度和或蝕刻均勻性，提出了一種具有一個或多個蒸發(fā)器和兩個或更多個按照本發(fā)明的電極的等離子體源。使用超過一個電極允許在電極處使用不同電流以及這些電流的時間選擇性的應(yīng)用，使得能夠?qū)崿F(xiàn)其對等離子體產(chǎn)生的經(jīng)改善的控制。

本發(fā)明授權(quán)等離子體源的用于執(zhí)行等離子體處理的電極裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于執(zhí)行等離子體處理的真空室，所述真空室包括等離子體處理區(qū)以及等離子體源，所述等離子體處理區(qū)被室壁所包圍，所述等離子體源包括：用于陰極真空電弧蒸發(fā)的陰極110、210、220、310、320、330和與所述室連接的電弧陽極，其中所述陰極在所述室中布置于室壁上；用于屏蔽由所述陰極發(fā)射的粒子和金屬離子的屏蔽件115、230、332、333、334，其中所述屏蔽件115、230、332、333、334設(shè)置于所述真空室中，使得所述屏蔽件能夠被布置于所述陰極110、210、220、310、320、330前面；與所述陰極110、210、220、310、320、330間隔開的、布置于所述室中的電極120、120a、130、140、240、250、340、350、360，其中所述電極固定在所述真空室的壁上或至少部分地布置在室壁中；其特征在于，所述電極120、120a、130、140、240、250、340、350、360包括用于捕捉由所述陰極110、210、220、310、320、330發(fā)射的電子的二維表面，而且所述二維表面具有相對于表面法線的第一正交伸展和第二正交伸展，其中所述第一正交伸展垂直于第二正交伸展，其中所述第一正交伸展與所述第二正交伸展的長度比在0.1與1之間。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人歐瑞康表面解決方案股份公司,普費菲孔，其通訊地址為：瑞士普費菲孔；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。