恭喜ASML荷蘭有限公司J-G·C·范德托恩獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專利用于在帶電粒子裝置中進(jìn)行光學(xué)測(cè)量的裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113272932B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980087228.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/02；該發(fā)明授權(quán)用于在帶電粒子裝置中進(jìn)行光學(xué)測(cè)量的裝置是由J-G·C·范德托恩;陳仲瑋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-12-19向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本用于在帶電粒子裝置中進(jìn)行光學(xué)測(cè)量的裝置在說明書摘要公布了：帶電粒子檢查系統(tǒng)可以包括具有孔徑或一個(gè)以上孔徑的屏蔽板，例如，以允許通過附加儀器進(jìn)行附加檢查，該附加儀器需要到感興趣區(qū)域的視線。諸如窗口元件或凸起邊緣的場(chǎng)成形元件被放置在孔徑處以防止或減少電場(chǎng)的分量。
本發(fā)明授權(quán)用于在帶電粒子裝置中進(jìn)行光學(xué)測(cè)量的裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電子束檢查裝置，包括：平坦的板，包括導(dǎo)電材料和限定貫通孔徑的結(jié)構(gòu)，所述貫通孔徑被配置為定位在晶片臺(tái)的導(dǎo)電表面上方；以及場(chǎng)成形元件，被定位在所述貫通孔徑處，所述場(chǎng)成形元件被配置為：抵消所述貫通孔徑對(duì)與所述平坦的板相鄰的電場(chǎng)的影響，所述場(chǎng)成形元件導(dǎo)電并且透光，其中所述場(chǎng)成形元件包括所述板的與所述貫通孔徑相鄰的區(qū)域，所述區(qū)域凸起以限定至少部分地圍繞所述孔徑的凸起邊緣，所述凸起邊緣包括導(dǎo)電材料。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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