買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜昆山普樂斯電子科技有限公司;蘇州優維畢光電科技有限公司;蘇州艾斯林自動化科技有限公司申請的專利一種等離子自動清洗設備及其工作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111687144B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010661208.3，技術領域涉及：B08B7/00；該發明授權一種等離子自動清洗設備及其工作方法是由郭峰;劉向東;彭小巧;王宇;國際瑞設計研發完成，并于2020-07-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種等離子自動清洗設備及其工作方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種等離子自動清洗設備，屬于半導體加工技術領域；其包括機架、設置在機架上的清洗機構、分設在清洗機構兩側外的送料裝置、分設在送料裝置與清洗機構之間的儲料裝置、與機架滑動連接的回料裝置以及罩設在外周的罩殼，所述送料裝置能夠將物料板從儲料裝置內推送至清洗機構內，所述回料裝置能夠將清洗后的物料板推送回儲料裝置內；本發明提供了一種等離子自動清洗設備及其工作方法，能夠實現送料、清洗、回料的自動化操作，提高清洗效率，降低人工作業量，降低人工成本，提高經濟效益。

本發明授權一種等離子自動清洗設備及其工作方法在權利要求書中公布了：1.一種等離子自動清洗設備，其特征在于：包括機架（1）、設置在機架上的清洗機構（2）、分設在清洗機構兩側外的送料裝置（3）、分設在送料裝置與清洗機構之間的儲料裝置（4）、與機架滑動連接的回料裝置（5）以及罩設在外周的罩殼（6），所述送料裝置能夠將物料板（7）從儲料裝置內推送至清洗機構內，所述回料裝置能夠將清洗后的物料板推送回儲料裝置內；所述清洗機構包括設置在機臺上的清洗腔盤（8）、與機架滑動連接的轉動座（9）、與轉動座轉動鉸接的轉動支撐梁（10）、設置在轉動支撐梁上的蓋殼（11）以及能夠限制轉動支撐梁轉動的限位裝置（12），所述蓋殼設置在清洗腔盤上方，所述清洗腔盤內設有能夠允許物料板滑動的清洗腔滑槽（13），所述蓋殼能夠密封蓋設在清洗腔盤上；所述送料裝置包括設置在機架上的推料機構（19）以及推料驅動機構（20），所述推料機構包括導向座（21）、與導向座滑動連接的傳送板帶（22）、設置在傳送板帶前端的推料頭（23）以及導向輪（24），所述傳送板帶另一端與推料驅動機構連接，所述傳送板帶設置在導向輪與導向座之間，所述傳送板帶經由導向輪傳送后彎折，所述傳送板帶為彈性結構，所述導向輪與固定座通過一彈性連桿（25）連接，所述彈性連桿一端與固定座轉動連接，所述彈性連桿另一端與導向輪轉動連接，所述彈性連桿中部與固定座之間通過彈簧（26）連接；所述推料頭包括推料導向板（27）以及設置在推料導向板前方的推塊（28），所述推塊上設有推料豁口（29），所述推料導向板上設有彎曲的加強槽（30），所述加強槽的延伸方向與推料方向平行，所述加強槽的下表面與傳送板帶貼合；所述推料導向板相鄰的兩棱邊經倒角（31）過渡連接，所述推料豁口呈梯形設置且外側的豎向距離大于內側的豎向距離。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人昆山普樂斯電子科技有限公司;蘇州優維畢光電科技有限公司;蘇州艾斯林自動化科技有限公司，其通訊地址為：215316 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮北門路3232號3號房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。