恭喜蘇州敏芯微電子技術股份有限公司榮根蘭獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜蘇州敏芯微電子技術股份有限公司申請的專利MEMS麥克風及其微機電結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114079844B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010847895.8,技術領域涉及:H04R19/01;該發明授權MEMS麥克風及其微機電結構是由榮根蘭;孫愷;孟燕子;胡維設計研發完成,并于2020-08-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本MEMS麥克風及其微機電結構在說明書摘要公布了:本申請公開了一種MEMS麥克風及其微機電結構。該微機電結構包括:背板;振動膜,具有至少一個通孔,并與背板構成可變電容;至少一個連接柱,每個連接柱的一端與背板固定連接;以及至少一個可動結構,分別位于相應的通孔中以與振動膜分離,每個可動結構與相應的連接柱的另一端固定連接,其中,可動結構與通孔之間的間隙用于氣體流通。該微機電結構通過在振動膜的通孔中設置與振動膜分離的可動結構,使得可動結構與通孔之間存在間隙,從而使得微機電結構的泄氣量適應于不同外界聲壓,進而在保障MEMS麥克風性能的同時,改善了振動膜形變量大的問題。
本發明授權MEMS麥克風及其微機電結構在權利要求書中公布了:1.一種微機電結構,其特征在于,包括:背板;振動膜,具有至少一個通孔,并與所述背板構成可變電容;至少一個連接柱,每個所述連接柱的一端與所述背板固定連接;以及至少一個可動結構,分別位于相應的所述通孔中以與所述振動膜分離,每個所述可動結構與相應的所述連接柱的另一端固定連接,其中,所述可動結構與所述通孔之間的間隙用于氣體流通,至少一個所述可動結包括凹槽和或泄氣槽,所述凹槽與所述泄氣槽貫穿所述可動結構,所述凹槽自所述可動結構的邊緣向內延伸,并連通所述間隙。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州敏芯微電子技術股份有限公司,其通訊地址為:215123 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道99號納米城NW09-501;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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