恭喜中國電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗研究所((工業(yè)和信息化部電子第五研究所)(中國賽寶實驗室))付志偉獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗研究所((工業(yè)和信息化部電子第五研究所)(中國賽寶實驗室))申請的專利碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114563675B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202110428993.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01R31/26;該發(fā)明授權(quán)碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法是由付志偉;侯波;陳思;周斌;王之哲;楊曉鋒;黃云;施宜軍;梁振堂;徐及樂設(shè)計研發(fā)完成,并于2021-04-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法在說明書摘要公布了:本公開涉及一種碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法,包括對碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管通電測試,獲取所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的偏置電壓;在所述偏置電壓條件下,測試所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管源極和漏極之間的電壓Vsd與溫度數(shù)據(jù),獲得所述電壓Vsd與溫度的函數(shù)關(guān)系;結(jié)合所述函數(shù)關(guān)系,采用瞬態(tài)雙界面法測試獲取所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的降溫時間數(shù)據(jù);根據(jù)所述降溫時間數(shù)據(jù),計算獲得碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的結(jié)殼熱阻。本公開有助于消除MOSFET降溫測試曲線單調(diào)性的影響,提高了SiCMOSFET熱阻測量的精確度。
本發(fā)明授權(quán)碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管結(jié)殼熱阻測試方法,其特征在于,包括:對碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管進(jìn)行通電測試,獲取所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的偏置電壓;在所述偏置電壓條件下,測試所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管源極和漏極之間的電壓Vsd與溫度數(shù)據(jù),獲得所述電壓Vsd與溫度的函數(shù)關(guān)系;結(jié)合所述函數(shù)關(guān)系,采用瞬態(tài)雙界面法測試獲取所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的降溫時間數(shù)據(jù);根據(jù)所述降溫時間數(shù)據(jù),計算獲得碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的結(jié)殼熱阻,其中,對碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管通電測試,獲取所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的偏置電壓包括:在所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的柵極和源極之間加載固定負(fù)壓Vgs,在漏極和源極之間加載負(fù)脈沖電壓Vds;繪制不同負(fù)壓Vgs條件下的所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管源極和漏極的Ids-Vds特性曲線;選取所述Ids-Vds特性曲線中多條曲線重合時,負(fù)壓Vgs的絕對值為最小值時的負(fù)壓Vgs作為所述偏置電壓,所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管安裝于測試夾具,且所述碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管的源極和漏極采用開爾文連接;所述負(fù)脈沖電壓Vds的脈沖占空比小于等于0.5%。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗研究所((工業(yè)和信息化部電子第五研究所)(中國賽寶實驗室)),其通訊地址為:511300 廣東省廣州市增城區(qū)朱村街朱村大道西78號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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