恭喜卡爾蔡司(上海)管理有限公司;卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司焦龍庵獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜卡爾蔡司(上海)管理有限公司;卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司申請的專利芯片的檢測系統及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113871313B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110874600.0，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權芯片的檢測系統及檢測方法是由焦龍庵;V.維斯瓦納坦設計研發完成，并于2021-07-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本芯片的檢測系統及檢測方法在說明書摘要公布了：本公開涉及一種芯片的檢測系統及檢測方法。所述檢測系統包括：樣品臺，用于支撐所述芯片；X射線成像裝置，配置為獲得所述芯片的X射線圖像；控制裝置，配置為根據所述X射線圖像確定所述芯片中目標區域的位置信息；和局部加工裝置，配置為生成能量束，并將所述能量束聚焦于所述芯片上以局部加工所述芯片。
本發明授權芯片的檢測系統及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種芯片的檢測系統，包括：樣品臺，用于支撐所述芯片；X射線成像裝置，配置為在所述芯片的表面上方且獲得所述芯片的X射線圖像；控制裝置，配置為根據所述X射線圖像確定所述芯片內部的目標區域的位置信息；和局部加工裝置，配置為生成能量束，并將所述能量束聚焦于所述芯片上以局部加工所述芯片，其中，所述局部加工裝置配置為在所述目標區域附近的所述芯片的表面上形成基準標記，在所述目標區域附近的所述芯片的表面上形成所述基準標記的步驟之前，所述檢測系統使用所述X射線成像裝置獲得所述芯片的整體X射線圖像以及識別所述目標區域，并確定所述基準標記的位置，在形成所述基準標記之后，所述X射線成像裝置獲得所述目標區域的X射線圖像，所述控制裝置配置為根據所述目標區域的X射線圖像確定所述目標區域相對于所述基準標記在所述芯片的表面上的位置以及確定所述目標區域相對于所述基準標記的深度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人卡爾蔡司(上海)管理有限公司;卡爾蔡司顯微鏡有限責任公司，其通訊地址為：200131 上海自由貿易試驗區美約路60號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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