恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所余洋獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種晶片裝載腔結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114023678B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111302436.2，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種晶片裝載腔結構是由余洋;王寶財;王學仕;楊金設計研發完成，并于2021-11-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶片裝載腔結構在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶片裝載腔結構，包括腔體，所述腔體上設有前門和后門，所述腔體底部設有進氣口且頂部設有單向出氣口，所述進氣口連接有氣體過濾器，所述前門配設有前門驅動件，所述后門配設有后門驅動件。本發明有利于維持裝載室內較低的氧含量水平，可以進行氣體清洗。
本發明授權一種晶片裝載腔結構在權利要求書中公布了：1.一種晶片裝載腔結構，包括腔體1，其特征在于：所述腔體1上設有前門2和后門3，所述腔體1底部設有進氣口11且頂部設有單向出氣口12，所述進氣口11連接有氣體過濾器4，所述前門2配設有前門驅動件21，所述后門3配設有后門驅動件31；在后門3處于關閉狀態時，才打開前門2；前門2關閉后，清洗氣體經過氣體過濾器4過濾、凈化后通過進氣口11進入腔體1內，腔體1內的氣體可以通過頂部的單向出氣口12排出，腔體1內通入清洗氣體進行清洗一段時間之后，再打開后門3；所述前門2與所述腔體1鉸接，所述前門驅動件21為伸縮式驅動件，前門驅動件21一端與所述腔體1鉸接，另一端與所述前門2鉸接，所述前門2下部延伸至所述腔體1下方，前門2下部配設有伸縮式止動件22，所述伸縮式止動件22上設有止動輪23，前門2關閉后，伸縮式止動件22伸出，帶動止動輪23上升，止動輪23與前門2下部緊貼，從而實現對前門2的壓緊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長沙市天心區新開鋪路1025號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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