中國電子科技集團公司第四十八研究所謝貴久獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種氫氣傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114280107B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111449733.X，技術領域涉及：G01N27/12；該發明授權一種氫氣傳感器及其制備方法是由謝貴久;張浩;車顏賢;何峰;丁玎;張月鑫設計研發完成，并于2021-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氫氣傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種氫氣傳感器及其制備方法，屬于傳感器技術領域，用于解決目前氫氣傳感器抗干擾性能弱的技術問題，氫氣傳感器具體包括硅片襯底，所述硅片襯底上設有薄膜電氣隔離層，所述薄膜電氣隔離層上設有加熱電阻、測溫電阻和氫敏電阻，所述加熱電阻、測溫電阻和氫敏電阻均設置有引線端，所述氫敏電阻的上方設有一層有機聚合物薄膜層。本發明具有性能穩定、壽命長、成本低、抗干擾性能好等優點。
本發明授權一種氫氣傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種氫氣傳感器，其特征在于，包括硅片襯底（1），所述硅片襯底（1）上設有薄膜電氣隔離層（2），所述薄膜電氣隔離層（2）上設有加熱電阻（3）、測溫電阻（4）和氫敏電阻（5），所述加熱電阻（3）、測溫電阻（4）和氫敏電阻（5）均設置有引線端，所述氫敏電阻（5）的上方設有一層有機聚合物薄膜層（6）；所述有機聚合物薄膜層（6）由PMMA或PTFE高分子有機聚合物制成；所述薄膜電氣隔離層（2）為SiO2薄膜電氣隔離層；所述氫敏電阻（5）由Pd1-x-Nix、Pd1-x-Agx、Pd1-x-Crx或Pd1-x-Cux材料制備而成；有機聚合物薄膜層（6）的厚度范圍為10nm-150nm,通過離子束濺射鍍膜工藝沉積，濺射電壓為450V，濺射電流為45mA。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長沙市天心區新開鋪路1025號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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