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龍圖騰網(wǎng)恭喜山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司申請的專利一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114171444B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111564457.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該發(fā)明授權(quán)一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置是由馬玉水設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置，可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架包括架體、驅(qū)動電機(jī)、硅片花籃；架體包括縱向設(shè)置的頂架、垂直向設(shè)置的設(shè)有內(nèi)孔的連接管、縱向設(shè)置的硅片花籃架，連接管的底端設(shè)有底板；所述連接管的內(nèi)孔的橫截面呈長方形；硅片花籃架上縱向設(shè)有兩平行的轉(zhuǎn)動棍，連接管底端前側(cè)面的左、右兩端各縱向設(shè)有轉(zhuǎn)動棍安裝孔，兩轉(zhuǎn)動棍插入分別插入一轉(zhuǎn)動棍安裝孔內(nèi)；各轉(zhuǎn)動棍的連接管內(nèi)孔內(nèi)設(shè)有鏈輪，兩鏈輪通過第二傳動鏈條相連，第二傳動鏈條所在平面垂直于兩轉(zhuǎn)動棍；硅片花籃架上安裝有硅片花籃。本發(fā)明裝置可以在硅片花籃內(nèi)放置不同尺寸的硅片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清洗，特別適用于小批量、多種尺寸的硅片的清洗。

本發(fā)明授權(quán)一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種可使硅片旋轉(zhuǎn)的清洗架，其特征在于：包括架體、驅(qū)動電機(jī)（2）、硅片花籃（7）；架體包括縱向設(shè)置的頂架（9）、垂直向設(shè)置的設(shè)有內(nèi)孔（15）的連接管（10）、縱向設(shè)置的硅片花籃架（1），連接管（10）的底端與硅片花籃架（1）的后端相連，連接管（10）的頂端與頂架（9）相連，驅(qū)動電機(jī)（2）設(shè)置在頂架（9）上連接管（10）的正上方；連接管（10）的底端設(shè)有底板（11）；所述連接管（10）的內(nèi)孔（15）的橫截面呈長方形；硅片花籃架（1）上縱向設(shè)有兩平行的轉(zhuǎn)動棍（4），連接管（10）底端前側(cè)面的左、右兩端各縱向設(shè)有轉(zhuǎn)動棍安裝孔，兩轉(zhuǎn)動棍（4）分別插入一轉(zhuǎn)動棍安裝孔內(nèi)；各轉(zhuǎn)動棍（4）的連接管（10）內(nèi)孔（15）內(nèi)設(shè)有鏈輪（12），兩鏈輪（12）通過第二傳動鏈條（5）相連，第二傳動鏈條（5）所在平面垂直于兩轉(zhuǎn)動棍（4）；驅(qū)動電機(jī)（2）的后端設(shè)有主動輪（13）；兩轉(zhuǎn)動棍（4）中，其中一轉(zhuǎn)動棍（4）的連接管（10）內(nèi)孔（15）內(nèi)設(shè)有被動輪（14）；驅(qū)動電機(jī)（2）上設(shè)有主動輪（13），主動輪（13）、被動輪（14）所在平面垂直于兩轉(zhuǎn)動棍（4）；主動輪（13）與從動輪通過第一傳動鏈條（6）相連；第一傳動鏈條（6）的下端位于連接管（10）的內(nèi)孔（15）內(nèi)；各轉(zhuǎn)動棍（4）與連接管（10）內(nèi)孔（15）之間設(shè)有第一密封套（16）；頂架（9）的連接管（10）前側(cè)面正上方設(shè)有垂直于兩轉(zhuǎn)動棍（4）的隔板（17），頂架（9）上隔板（17）的后側(cè)設(shè)有第一空腔（18），頂架（9）上隔板（17）的前側(cè)設(shè)有第二空腔（19）；連接管（10）的頂端與所述第一空腔（18）的底面連通；隔板（17）上設(shè)有垂直于隔板（17）的電機(jī)軸安裝孔，驅(qū)動電機(jī)（2）安裝在第二空腔（19）；驅(qū)動電機(jī)（2）縱向設(shè)有驅(qū)動軸（20），驅(qū)動電機(jī)（2）的驅(qū)動軸（20）穿過所述電機(jī)軸安裝孔，主動輪（13）安裝在驅(qū)動軸（20）上且位于的第一空腔（18）內(nèi)；第一傳動鏈條（6）的上端位于第一空腔（18）內(nèi)；電機(jī)軸安裝孔與驅(qū)動電機(jī)（2）的驅(qū)動軸（20）之間設(shè)有第二密封套（21）；硅片花籃架（1）上安裝有硅片花籃（7），硅片花籃（7）上設(shè)有若干垂直于兩硅片兩轉(zhuǎn)動棍（4）的硅片插槽（22），當(dāng)硅片花籃（7）內(nèi)的硅片插槽（22）上放置有若干圓形的硅片（8）時，各硅片（8）的底端與兩轉(zhuǎn)動棍（4）的徑向外周表面接觸；連接管（10）的內(nèi)孔（15）橫截面的長邊橫向設(shè)置；各轉(zhuǎn)動棍（4）的連接管（10）以外部分的徑向外周表面設(shè)有橡膠套（26）。

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