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龍圖騰網獲悉山東聯盛電子設備有限公司申請的專利一種可使硅片旋轉的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114171444B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111564457.1，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種可使硅片旋轉的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置是由馬玉水設計研發完成，并于2021-12-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種可使硅片旋轉的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種可使硅片旋轉的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置，可使硅片旋轉的清洗架包括架體、驅動電機、硅片花籃；架體包括縱向設置的頂架、垂直向設置的設有內孔的連接管、縱向設置的硅片花籃架，連接管的底端設有底板；所述連接管的內孔的橫截面呈長方形；硅片花籃架上縱向設有兩平行的轉動棍，連接管底端前側面的左、右兩端各縱向設有轉動棍安裝孔，兩轉動棍插入分別插入一轉動棍安裝孔內；各轉動棍的連接管內孔內設有鏈輪，兩鏈輪通過第二傳動鏈條相連，第二傳動鏈條所在平面垂直于兩轉動棍；硅片花籃架上安裝有硅片花籃。本發明裝置可以在硅片花籃內放置不同尺寸的硅片進行旋轉清洗，特別適用于小批量、多種尺寸的硅片的清洗。

本發明授權一種可使硅片旋轉的清洗架采用該清洗架的硅片清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種可使硅片旋轉的清洗架，其特征在于：包括架體、驅動電機（2）、硅片花籃（7）；架體包括縱向設置的頂架（9）、垂直向設置的設有內孔（15）的連接管（10）、縱向設置的硅片花籃架（1），連接管（10）的底端與硅片花籃架（1）的后端相連，連接管（10）的頂端與頂架（9）相連，驅動電機（2）設置在頂架（9）上連接管（10）的正上方；連接管（10）的底端設有底板（11）；所述連接管（10）的內孔（15）的橫截面呈長方形；硅片花籃架（1）上縱向設有兩平行的轉動棍（4），連接管（10）底端前側面的左、右兩端各縱向設有轉動棍安裝孔，兩轉動棍（4）分別插入一轉動棍安裝孔內；各轉動棍（4）的連接管（10）內孔（15）內設有鏈輪（12），兩鏈輪（12）通過第二傳動鏈條（5）相連，第二傳動鏈條（5）所在平面垂直于兩轉動棍（4）；驅動電機（2）的后端設有主動輪（13）；兩轉動棍（4）中，其中一轉動棍（4）的連接管（10）內孔（15）內設有被動輪（14）；驅動電機（2）上設有主動輪（13），主動輪（13）、被動輪（14）所在平面垂直于兩轉動棍（4）；主動輪（13）與從動輪通過第一傳動鏈條（6）相連；第一傳動鏈條（6）的下端位于連接管（10）的內孔（15）內；各轉動棍（4）與連接管（10）內孔（15）之間設有第一密封套（16）；頂架（9）的連接管（10）前側面正上方設有垂直于兩轉動棍（4）的隔板（17），頂架（9）上隔板（17）的后側設有第一空腔（18），頂架（9）上隔板（17）的前側設有第二空腔（19）；連接管（10）的頂端與所述第一空腔（18）的底面連通；隔板（17）上設有垂直于隔板（17）的電機軸安裝孔，驅動電機（2）安裝在第二空腔（19）；驅動電機（2）縱向設有驅動軸（20），驅動電機（2）的驅動軸（20）穿過所述電機軸安裝孔，主動輪（13）安裝在驅動軸（20）上且位于的第一空腔（18）內；第一傳動鏈條（6）的上端位于第一空腔（18）內；電機軸安裝孔與驅動電機（2）的驅動軸（20）之間設有第二密封套（21）；硅片花籃架（1）上安裝有硅片花籃（7），硅片花籃（7）上設有若干垂直于兩硅片兩轉動棍（4）的硅片插槽（22），當硅片花籃（7）內的硅片插槽（22）上放置有若干圓形的硅片（8）時，各硅片（8）的底端與兩轉動棍（4）的徑向外周表面接觸；連接管（10）的內孔（15）橫截面的長邊橫向設置；各轉動棍（4）的連接管（10）以外部分的徑向外周表面設有橡膠套（26）。

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