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龍圖騰網恭喜京東方科技集團股份有限公司申請的專利一種掃描曝光方法及裝置、掃描曝光設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114675506B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210351933.X，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種掃描曝光方法及裝置、掃描曝光設備是由馮京;劉鵬;王志沖;萇川川;袁廣才;董學設計研發完成，并于2022-04-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種掃描曝光方法及裝置、掃描曝光設備在說明書摘要公布了：本公開實施例提供一種掃描曝光方法及裝置、掃描曝光設備。方法包括：根據待曝光基板的多個待曝光版圖，確定目標掃描速度和各待曝光版圖分別對應的預設曝光劑量；根據各待曝光版圖和各預設曝光劑量，確定各預設曝光劑量在待曝光基板上對應的各曝光區域；根據各預設曝光劑量，確定參考曝光劑量；基于目標掃描速度對待曝光基板進行掃描，在掃描至各曝光區域的情況下，調節數字曝光機的數字微鏡單元在曝光區域的曝光劑量為對應的目標曝光劑量；其中，根據曝光區域對應的預設曝光劑量、參考曝光劑量以及預設的目標劑量關系式，確定對應的目標曝光劑量。本公開的技術方案，可以實現一次掃描過程中的多劑量曝光，節約了曝光時間。

本發明授權一種掃描曝光方法及裝置、掃描曝光設備在權利要求書中公布了：1.一種掃描曝光方法，其特征在于，應用于數字曝光設備，所述方法包括：根據待曝光基板的多個待曝光版圖，確定目標掃描速度和各所述待曝光版圖分別對應的預設曝光劑量；根據各所述待曝光版圖和各所述預設曝光劑量，確定各所述預設曝光劑量在所述待曝光基板上對應的各曝光區域；根據各所述預設曝光劑量，確定參考曝光劑量；基于所述目標掃描速度對所述待曝光基板進行掃描，在掃描至各所述曝光區域的情況下，調節所述數字曝光設備的數字微鏡單元在所述曝光區域的曝光劑量為對應的目標曝光劑量；根據所述曝光區域對應的預設曝光劑量、所述參考曝光劑量以及預設的目標劑量關系式，確定對應的所述目標曝光劑量；所述目標曝光劑量為所述數字曝光設備的數字微鏡單元在掃描至任一所述曝光區域時所產生的曝光劑量；其中，所述根據待曝光基板的多個待曝光版圖，確定目標掃描速度，包括：將各所述預設曝光劑量中的最大值對應的待曝光版圖確定為基準曝光版圖；根據掃描速度表達式，確定所述基準曝光版圖的第一掃描速度；根據所述基準曝光版圖的預設曝光劑量和預設的劑量與速度對應關系，確定所述基準曝光版圖的第二掃描速度；將所述第一掃描速度和所述第二掃描速度中的最小值確定為所述目標掃描速度；其中，根據待曝光基板的多個待曝光版圖，確定各所述待曝光版圖分別對應的預設曝光劑量，包括：根據所述待曝光版圖的圖形密度和或曝光經驗值確定出各所述待曝光版圖分別對應的預設曝光劑量；其中，所述根據各所述預設曝光劑量，確定參考曝光劑量，包括：將各所述預設曝光劑量中的最大曝光劑量確定為所述參考曝光劑量；其中，所述根據所述曝光區域對應的預設曝光劑量、所述參考曝光劑量以及預設的目標劑量關系式，確定對應的所述目標曝光劑量，包括：計算所述曝光區域對應的預設曝光劑量和所述參考曝光劑量的比值；根據所述比值和所述目標劑量關系式，確定對應的所述目標曝光劑量。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人京東方科技集團股份有限公司，其通訊地址為：100015 北京市朝陽區酒仙橋路10號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。