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龍圖騰網恭喜江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114883226B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210652531.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線是由崔思遠;趙元亞;吳瓊瓊;金從龍設計研發完成，并于2022-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線在說明書摘要公布了：本發明公開了一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線，包括陶瓷盤貼蠟系統、晶圓拋光系統、脫蠟取片系統與總控系統；陶瓷盤貼蠟系統包括貼蠟機、取片機械手與貼蠟機械手，取片機械手用于將晶圓轉移至貼蠟機內，并通過陶瓷盤堆疊機構將陶瓷盤輸送軌道上的陶瓷盤堆疊在可運動的陶瓷盤存儲架內；晶圓拋光系統包括拋光機與陶瓷盤機械手，拋光機械手用于將貼設有經拋光晶圓的陶瓷盤抓取放置于陶瓷盤存儲架內；脫蠟取片系統包括脫蠟取片機與脫蠟機械手，脫蠟機械手用于將貼設于陶瓷盤表面的晶圓剝離，并通過脫蠟機械手抓取分離后的陶瓷盤放置于陶瓷盤存儲架內。本發明通過各系統的協同，能夠有效提升晶圓貼磨拋整體工序的生產效率。

本發明授權一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓貼磨拋自動化生產線，其特征在于，所述生產線包括陶瓷盤貼蠟系統、晶圓拋光系統、脫蠟取片系統與總控系統；其中，所述陶瓷盤貼蠟系統包括貼蠟機、取片機械手與貼蠟機械手，所述取片機械手用于將存儲在晶圓存儲裝置內的晶圓轉移至所述貼蠟機內，所述貼蠟機械手用于將所述貼蠟機內經過貼蠟的晶圓轉移至預設位置，通過貼片機械手將放置于預設位置的晶圓貼合至可沿陶瓷盤輸送軌道移動的陶瓷盤上，并通過陶瓷盤堆疊機構將所述陶瓷盤輸送軌道上的陶瓷盤堆疊在可運動的陶瓷盤存儲架內；所述晶圓拋光系統包括拋光機與陶瓷盤機械手，所述拋光機械手用于抓取所述陶瓷盤存儲架內的陶瓷盤，將陶瓷盤轉移至所述拋光機的拋光盤上以通過所述拋光機進行晶圓的拋光，并將貼設有經拋光晶圓的陶瓷盤抓取放置于所述陶瓷盤存儲架內；所述脫蠟取片系統包括脫蠟取片機與脫蠟機械手，所述脫蠟機械手用于抓取所述陶瓷盤存儲架內的陶瓷盤，將陶瓷盤移至所述脫蠟取片機中，以通過所述脫蠟取片機將貼設于陶瓷盤表面的晶圓剝離，并通過所述脫蠟機械手抓取分離后的陶瓷盤放置于所述陶瓷盤存儲架內；所述晶圓存儲裝置包括用于存儲晶圓的晶圓盒與用于存儲所述晶圓盒的料盒架，所述取片機械手設于所述料盒架與所述貼蠟機的供料位的之間位置，并通過所述取片機械手將所述晶圓盒在所述料盒架與所述供料位之間循環放置；所述晶圓存儲裝置的數量與所述貼蠟機的數量相等，且在所述貼蠟機的數量為多個時，每一所述晶圓存儲裝置與每一所述貼蠟機的位置相對，所述取片機械手通過一往復機構活動于多個所述晶圓存儲裝置與多個所述貼蠟機之間，以通過所述往復機構驅動所述取片機械手在多個所述晶圓存儲裝置與多個所述貼蠟機之間往復移動。

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