買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115683399B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211329766.5，技術領域涉及：G01L1/10；該發明授權一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器及其制備方法是由車顏賢設計研發完成，并于2022-10-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器及其制備方法，該傳感器包括由下而上依次連接的導壓玻璃層、壓力敏感膜層和諧振結構層，且在諧振結構層的檢測電極表面設置鋁薄膜形成感溫復合檢測電極，與另一檢測電極構成雙檢測電極。本發明傳感器可利用雙檢測電極的檢測信號進行差分計算，消除溫度對傳感器的耦合作用，從而能夠大大的提高傳感器的測量精度，實現高精度、溫度耦合的壓力測量，具有測量精度高、抗干擾能力強、易封裝等優點，是一種性能優異的新型壓力傳感器，能夠適應于不同溫度條件下的壓力測量，使用價值高，應用前景好。本發明制備方法具有制備簡單、工藝可靠、能耗低、成本低等優點，適合于大規模制備，便于工業化利用。

本發明授權一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種溫度耦合的滑膜差動諧振式壓力傳感器，其特征在于，所述滑膜差動諧振式壓力傳感器包括由下而上依次連接的導壓玻璃層、壓力敏感膜層和諧振結構層；與諧振結構層對應的壓力敏感膜層的一側面設有敞口狀的空腔，空腔內底部設有四個硅島，四個所述硅島分別設于壓力敏感膜層的壓力敏感膜片的對角線上；所述諧振結構層包括主諧振梁和位于主諧振梁四周的諧振機構；所述主諧振梁由相互連接且呈對角設置的四個支撐梁組成，所述主諧振梁通過四個支撐梁連接著硅島的頂部；所述諧振機構包括設于兩個支撐梁之間與主諧振梁連接的第一梳齒結構、第二梳齒結構、第三梳齒結構、第四梳齒結構，所述第一梳齒結構和第三梳齒結構對稱設置，所述第二梳齒結構和第四梳齒結構對稱設置；所述第一梳齒結構包括第一可動梳齒驅動電極和第一固定梳齒驅動電極，所述第一可動梳齒驅動電極和第一固定梳齒驅動電極之間呈梳齒配合狀態，形成梳齒電容；所述第二梳齒結構包括第一可動梳齒檢測電極和第一固定梳齒檢測電極，所述第一可動梳齒檢測電極和第一固定梳齒檢測電極之間呈梳齒配合狀態，形成梳齒電容；所述第三梳齒結構包括第二可動梳齒驅動電極和第二固定梳齒驅動電極，所述第二可動梳齒驅動電極和第二固定梳齒驅動電極之間呈梳齒配合狀態，形成梳齒電容；所述第四梳齒結構包括第二可動梳齒檢測電極和第二固定梳齒檢測電極，所述第二可動梳齒檢測電極和第二固定梳齒檢測電極之間呈梳齒配合狀態，形成梳齒電容；所述第二可動梳齒檢測電極上靠近壓力敏感膜層的一側還設有鋁薄膜，形成感溫復合檢測電極。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長沙市天心區新開鋪路1025號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。