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龍圖騰網恭喜科磊股份有限公司申請的專利使用具有多個空間頻率的疊對目標的掃描疊對計量獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117980828B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202280063733.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權使用具有多個空間頻率的疊對目標的掃描疊對計量是由Y·盧巴舍夫斯基;I·戈多爾;D·內格里;E·哈賈設計研發完成，并于2022-12-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本使用具有多個空間頻率的疊對目標的掃描疊對計量在說明書摘要公布了：一種疊對計量系統可包含照明源及照明光學器件以根據測量配方在樣本相對于來自所述照明源的照明運動時，用來自所述照明源的所述照明照射所述樣本上的疊對目標。所述疊對目標可包含一或多個胞元，其中單胞元適合于沿著特定方向測量。此胞元可包含具有不同節距的兩個或更多個光柵。此外，所述系統可包含兩個或更多個光電檢測器，其各自經配置以從所述兩個或更多個光柵結構捕獲三個衍射波瓣。所述系統可進一步包含控制器以確定與所述疊對目標的每一胞元相關聯的疊對測量。

本發明授權使用具有多個空間頻率的疊對目標的掃描疊對計量在權利要求書中公布了：1.一種疊對計量系統，其包括：照明源；照明子系統，其包含一或多個照明光學器件以根據測量配方在樣本相對于來自所述照明源的照明運動時，用來自所述照明源的所述照明照射所述樣本上的疊對目標，其中所述疊對目標包含根據所述測量配方的一或多個胞元，其中所述一或多個胞元中的至少一些包括：雙光柵，其包含沿著測量方向在重疊區中以第一節距及第二節距分布的第一系列特征；及單光柵，其包含沿著所述測量方向以所述第一節距分布的第二系列特征；收集子系統，其包含一或多個收集光學器件以根據所述測量配方將由與所述第一及第二節距相關聯的所述雙光柵及所述單光柵兩者的照明的正及負一級衍射引導到定位于光瞳平面中的一或多個檢測器，其中所述一或多個檢測器產生與由所述雙光柵及所述單光柵兩者的所述照明的所述正及負一級衍射相關聯的時變干涉信號；及控制器，其通信地耦合到所述一或多個檢測器，所述控制器包含一或多個處理器以執行程序指令，從而使所述一或多個處理器基于所述時變干涉信號確定所述雙光柵與所述單光柵之間的疊對測量。

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