恭喜無錫學院黃瑞獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜無錫學院申請的專利一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118136712B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410130787.7,技術領域涉及:H10F10/172;該發明授權一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器及其制備方法是由黃瑞;唐明志;闞萬譽;吳凱;徐昊;趙東;陶旭;王青;郭業才設計研發完成,并于2024-01-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器及其制備方法。本光電探測器包括GaAs襯底,所述GaAs襯底一側依次外延生長AlxGa1?xAs應力釋放層、GaAs吸收層、AlyGa1?yAs接觸層和叉指電極;所述GaAs襯底另一側依次外延生長絕緣層和Si薄膜層;所述Si薄膜層上設有凸起的Si脊型波導,所述Si脊型波導頂部形成有p+摻雜型Si區,靠近所述Si脊型波導兩側Si薄膜層表面形成有p++摻雜型Si區;所述p+摻雜型Si區上依次外延生長本征i?Ge吸收層和n++摻雜型Ge層。本光電探測器無干擾地異質集成硅基鍺PIN和GaAs光電探測器;本光電探測器波段寬、探測靈敏度高、體積小,適用廣泛。
本發明授權一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種雙面雙結硅基GaAs光電探測器,其特征在于,包括GaAs襯底(1),所述GaAs襯底(1)一側依次外延生長AlxGa1-xAs應力釋放層(2)、GaAs吸收層(3)、AlyGa1-yAs接觸層(4)和叉指電極(5);所述GaAs襯底(1)另一側外延生長絕緣層(6),所述絕緣層(6)上鍵合或轉運壓印有Si薄膜層(7);所述Si薄膜層(7)上設有凸起的Si脊型波導(8),所述Si脊型波導(8)頂部形成有p+摻雜型Si區(9),靠近所述Si脊型波導(8)兩側Si薄膜層(7)表面分別形成有p++摻雜型Si區(71);所述p+摻雜型Si區(9)上依次外延生長本征i-Ge吸收層(10)和n++摻雜型Ge層(11);所述p++摻雜型Si區(71)和n++摻雜型Ge層(11)表面依次形成第一電極層(12)和第二電極層(13);所述第一電極層(12)和第二電極層(13)均包括地極(14)和信號極(15);所述第一電極層(12)內地極(14)與p++摻雜型Si區(71)連接,所述信號極(15)與n++摻雜型Ge層(11)連接;所述第二電極層(13)內地極(14)和信號極(15)分別與第一電極層(12)內地極(14)和信號極(15)連接;所述絕緣層(6)為0.005~10μm,所述絕緣層(6)為SiO2、Si3N4或Al2O3材料的層構件;所述AlxGa1-xAs應力釋放層(2)的厚度為0.01~20μm,其中x的取值范圍為0<x<1。
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