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龍圖騰網(wǎng)恭喜賽晶亞太半導(dǎo)體科技(浙江)有限公司申請(qǐng)的專利一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119044874B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411534944.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R35/02；該發(fā)明授權(quán)一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法是由李從斌;王軼;周雨;劉鵬飛;殷季菁設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法，包括如下步驟：獲取鍵合設(shè)備的鍵合參數(shù)，并設(shè)置鍵合設(shè)備的超聲補(bǔ)償值的等差閾值，基于所述等差閾值對(duì)當(dāng)前鍵合設(shè)備的鍵合樣品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，得到當(dāng)前鍵合設(shè)備的最佳超聲補(bǔ)償值；基于所述等差閾值對(duì)另一鍵合設(shè)備的鍵合樣品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，得到與所述最佳超聲補(bǔ)償值最接近的超聲補(bǔ)償值；使用雙樣本法對(duì)比最佳超聲補(bǔ)償值與最接近的超聲補(bǔ)償值，若對(duì)比結(jié)果滿足一致性要求，則根據(jù)最接近的超聲補(bǔ)償值調(diào)整對(duì)應(yīng)設(shè)備。本發(fā)明有益效果：能夠快速準(zhǔn)確的對(duì)不同鍵合設(shè)備進(jìn)行一致性校驗(yàn)及調(diào)整，提高了工作效率。

本發(fā)明授權(quán)一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種鍵合設(shè)備一致性的快速校驗(yàn)方法，其特征在于，包括如下步驟：獲取鍵合設(shè)備的鍵合參數(shù)，并設(shè)置鍵合設(shè)備的超聲補(bǔ)償值的等差閾值，基于所述等差閾值對(duì)當(dāng)前鍵合設(shè)備的鍵合樣品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，得到當(dāng)前鍵合設(shè)備的最佳超聲補(bǔ)償值；基于所述等差閾值對(duì)另一鍵合設(shè)備的鍵合樣品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，得到與所述最佳超聲補(bǔ)償值最接近的超聲補(bǔ)償值；使用雙樣本法對(duì)比最佳超聲補(bǔ)償值與最接近的超聲補(bǔ)償值，若對(duì)比結(jié)果滿足一致性要求，則根據(jù)最接近的超聲補(bǔ)償值調(diào)整對(duì)應(yīng)設(shè)備；所述等差閾值的設(shè)置方式為：根據(jù)業(yè)務(wù)需要及鍵合設(shè)備精度，為超聲補(bǔ)償值設(shè)置取值范圍，并為閾值選取差值，得到一組處于取值范圍內(nèi)的等差數(shù)列，將等差數(shù)列的值作為等差閾值；基于等差閾值進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試的過(guò)程包括：根據(jù)等差閾值調(diào)整鍵合設(shè)備的超聲補(bǔ)償，并對(duì)不同超聲補(bǔ)償下的各個(gè)鍵合樣品進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，選取滿足標(biāo)準(zhǔn)要求的測(cè)試結(jié)果，并將對(duì)應(yīng)的鍵合樣品的超聲補(bǔ)償值作為最佳超聲補(bǔ)償值；所述標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試的過(guò)程包括CPK分析，所述CPK分析的過(guò)程如下：獲取等差閾值下的鍵合樣品的樣本數(shù)據(jù)，并驗(yàn)證樣本數(shù)據(jù)是否符合正態(tài)分布，若不符合則對(duì)樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)整，直至樣本數(shù)據(jù)符合正態(tài)分布；使用符合正態(tài)分布的樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行CPK分析，CPK分析的具體公式為： ；其中，USL為樣本數(shù)據(jù)的上限規(guī)格，LSL為樣本數(shù)據(jù)的下限規(guī)格，為樣本數(shù)據(jù)的平均值，為樣本數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)差；樣本數(shù)據(jù)不符合正態(tài)分布時(shí)，對(duì)樣本數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)整的過(guò)程包括：通過(guò)冪參數(shù)對(duì)原始的樣本數(shù)據(jù)調(diào)整為正態(tài)分布，具體為： ；其中，yλ為轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)值，x為原始數(shù)據(jù)值x大于0，λ為轉(zhuǎn)換參數(shù)通過(guò)最大似然估計(jì)法計(jì)算得到。

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