恭喜中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)楊柏獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)申請的專利適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119243331B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202411776689.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C30B29/04;該發(fā)明授權(quán)適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)是由楊柏;王亞;杜江峰設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-12-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng),屬于晶體生長技術(shù)領(lǐng)域。適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法包括:根據(jù)鉆石晶體的預(yù)設(shè)生長目標(biāo)從鉆石工藝數(shù)據(jù)庫中確定實(shí)現(xiàn)預(yù)設(shè)生長目標(biāo)的工藝參數(shù),并將工藝參數(shù)輸出至鉆石生長設(shè)備使鉆石樣品按照工藝參數(shù)進(jìn)行生長;從鉆石生長設(shè)備提取生長中的鉆石樣品的鉆石生長參數(shù),并利用鉆石生長數(shù)據(jù)分析模型預(yù)測在工藝參數(shù)下的預(yù)測生長目標(biāo);在預(yù)測生長目標(biāo)與預(yù)設(shè)生長目標(biāo)不一致的情況下,基于預(yù)測生長目標(biāo)、預(yù)設(shè)生長目標(biāo)、鉆石生長參數(shù)和工藝參數(shù)對工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,并使鉆石樣品按照調(diào)整后的工藝參數(shù)進(jìn)行生長;重復(fù)提取、預(yù)測和調(diào)整的操作,直至預(yù)測生長目標(biāo)與預(yù)設(shè)生長目標(biāo)一致。
本發(fā)明授權(quán)適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種適用于鉆石晶體生長的自適應(yīng)方法,其特征在于,所述自適應(yīng)方法包括:根據(jù)鉆石晶體的預(yù)設(shè)生長目標(biāo),從鉆石工藝數(shù)據(jù)庫中確定適用于實(shí)現(xiàn)所述預(yù)設(shè)生長目標(biāo)的工藝參數(shù),并將所述工藝參數(shù)輸出至鉆石生長設(shè)備,以使鉆石樣品在所述鉆石生長設(shè)備內(nèi)按照所述工藝參數(shù)進(jìn)行生長;從所述鉆石生長設(shè)備提取生長中的所述鉆石樣品在生長過程中的鉆石生長參數(shù);根據(jù)所述鉆石生長參數(shù),利用已經(jīng)建立的鉆石生長數(shù)據(jù)分析模型預(yù)測得到生長中的所述鉆石樣品在所述工藝參數(shù)下的預(yù)測生長目標(biāo);在所述預(yù)測生長目標(biāo)與所述預(yù)設(shè)生長目標(biāo)不一致的情況下,基于所述預(yù)測生長目標(biāo)、所述預(yù)設(shè)生長目標(biāo)、所述鉆石生長參數(shù)和所述工藝參數(shù),對所述工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,得到適用于實(shí)現(xiàn)所述預(yù)設(shè)生長目標(biāo)的調(diào)整后的工藝參數(shù),并將所述調(diào)整后的工藝參數(shù)輸出至所述鉆石生長設(shè)備,以使所述鉆石樣品按照所述調(diào)整后的工藝參數(shù)進(jìn)行生長;重復(fù)所述提取、所述預(yù)測和調(diào)整的操作,直至所述鉆石樣品的預(yù)測生長目標(biāo)與所述預(yù)設(shè)生長目標(biāo)相一致;其中,所述鉆石生長參數(shù)包括鉆石樣品表面的溫度和等離子體濃度中的至少一項(xiàng)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),其通訊地址為:230026 安徽省合肥市包河區(qū)金寨路96號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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