中國科學技術大學楊柏獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學技術大學申請的專利適用于鉆石晶體生長的自適應方法、裝置、系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119243331B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411776689.7,技術領域涉及:C30B29/04;該發明授權適用于鉆石晶體生長的自適應方法、裝置、系統是由楊柏;王亞;杜江峰設計研發完成,并于2024-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本適用于鉆石晶體生長的自適應方法、裝置、系統在說明書摘要公布了:本發明提供了一種適用于鉆石晶體生長的自適應方法、裝置、系統,屬于晶體生長技術領域。適用于鉆石晶體生長的自適應方法包括:根據鉆石晶體的預設生長目標從鉆石工藝數據庫中確定實現預設生長目標的工藝參數,并將工藝參數輸出至鉆石生長設備使鉆石樣品按照工藝參數進行生長;從鉆石生長設備提取生長中的鉆石樣品的鉆石生長參數,并利用鉆石生長數據分析模型預測在工藝參數下的預測生長目標;在預測生長目標與預設生長目標不一致的情況下,基于預測生長目標、預設生長目標、鉆石生長參數和工藝參數對工藝參數進行調整,并使鉆石樣品按照調整后的工藝參數進行生長;重復提取、預測和調整的操作,直至預測生長目標與預設生長目標一致。
本發明授權適用于鉆石晶體生長的自適應方法、裝置、系統在權利要求書中公布了:1.一種適用于鉆石晶體生長的自適應方法,其特征在于,所述自適應方法包括:根據鉆石晶體的預設生長目標,從鉆石工藝數據庫中確定適用于實現所述預設生長目標的工藝參數,并將所述工藝參數輸出至鉆石生長設備,以使鉆石樣品在所述鉆石生長設備內按照所述工藝參數進行生長;從所述鉆石生長設備提取生長中的所述鉆石樣品在生長過程中的鉆石生長參數;根據所述鉆石生長參數,利用已經建立的鉆石生長數據分析模型預測得到生長中的所述鉆石樣品在所述工藝參數下的預測生長目標;在所述預測生長目標與所述預設生長目標不一致的情況下,基于所述預測生長目標、所述預設生長目標、所述鉆石生長參數和所述工藝參數,對所述工藝參數進行調整,得到適用于實現所述預設生長目標的調整后的工藝參數,并將所述調整后的工藝參數輸出至所述鉆石生長設備,以使所述鉆石樣品按照所述調整后的工藝參數進行生長;重復所述提取、所述預測和調整的操作,直至所述鉆石樣品的預測生長目標與所述預設生長目標相一致;其中,所述鉆石生長參數包括鉆石樣品表面的溫度和等離子體濃度中的至少一項。
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