恭喜上海澤豐半導體科技有限公司郭西彪獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海澤豐半導體科技有限公司申請的專利一種用于探針的受力分析系統及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119375524B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411944662.4,技術領域涉及:G01R1/067;該發明授權一種用于探針的受力分析系統及方法是由郭西彪;鄒斌設計研發完成,并于2024-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于探針的受力分析系統及方法在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體測試技術領域,更具體地說,涉及一種用于探針的受力分析系統及方法。本發明提供的受力分析系統,包括測力部件,對探針組件的探針針尖、針尾同時進行力測試;夾持部件,對探針組件進行定位、夾緊與固定;觀察部件,實現對探針組件的探針針尖側、針尾側的對位觀察;控制模塊,通過輸入控制指令,控制測力部件相對于探針組件的運動,并實現對探針針尖、針尾的受力測試與分析;其中,所述測力部件包括至少兩個測力機構,對稱布置在針尖側和針尾側,用于實現同時對探針組件上探針針尖側或針尾側的力測試。本發明能夠對探針針尖和針尾同時測力,以全面分析探針在實際工況下的力傳遞性能。
本發明授權一種用于探針的受力分析系統及方法在權利要求書中公布了:1.一種用于探針的受力分析系統,其特征在于,包括測力部件、夾持部件、觀察部件、控制模塊和底板:所述測力部件,設置于底板上,對探針組件的探針針尖、針尾同時進行力測試;所述夾持部件,設置于底板上,對探針組件進行定位、夾緊與固定;所述觀察部件,設置于底板上,實現對探針組件的探針針尖側、針尾側的對位觀察;所述控制模塊,設置于底板上,通過輸入控制指令,控制測力部件相對于探針組件的運動,并實現對探針針尖側、針尾側的受力測試與分析;其中,所述測力部件包括至少兩個測力機構,對稱布置在針尖側和針尾側,用于實現同時對探針組件上探針針尖側或針尾側的力測試;所述測力機構包括測試針運動模塊、三運動軸力傳感器元件、測試針夾具、測試針以及位移傳感器元件:所述測試針運動模塊,位于探針的針尖側或針尾側,并安裝在底板上,用于實現測試針的多方向位置調節;所述三運動軸力傳感器元件,設置測試針運動模塊上,用于實現對探針的針尖或針尾的受力測量;所述測試針夾具,設置于三運動軸力傳感器元件上,用于夾持測試針,以使得測試針與探針針尖或針尾實現穩定接觸;所述測試針,設置于測試針夾具上,用于實現與探針針尖或針尾的直接接觸;所述位移傳感器元件,設置在測試針運動模塊上,用于實現對探針針尖或針尾的微小位移變化的測量。
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